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項目案例 Case
Case 激光位移

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

日期: 2022-01-17
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[摘要]基于光譜共焦測量技術搭建了葉尖間隙模擬測試平臺,將模擬葉盤安裝在氣浮主軸上,并應用光譜共焦位移傳感器實現了葉尖端面的位移變化量的測量,以表征葉尖間隙的變化,分別模擬了葉尖間隙的單次測量和連續測量過程。實驗結果表明,應用光譜共焦位移傳感器可以完成發動機轉子葉尖間隙的測量,而且能夠達到很高的測量效率和精度,可以應用于實際的測量現場。


[關鍵詞]葉尖間隙;非接觸;光譜共焦;測量


引言

隨著科學技術的長足進步,世界航空工業進入了全新的發展時代。在航空領域中,發動機是推進系統的重要組成部分,為飛機提供持續飛行的拉力或推力。作為飛機的核心部件,發動機對于飛行的安全性、可靠性和經濟性等都有著重要影響。當前,航空推進系統日益向著高轉速、高效率、高推重比、高可靠性和高渦輪前溫度的方向發展,這就對發動機的整體性能提出了更高要求,迫切需要壓氣機、渦輪等關鍵部件具備更高的工作效率和更寬的穩定工作范圍。而要達到這一目標,就需要著力加強在發動機性能測試方面的研究工作。


一般說來,航空發動機是一種高速旋轉的熱力機械,能夠將燃料的化學能轉化為飛機的動能,其各級轉子主要由葉片、輪盤和轉軸等部分組成。在發動機的運行過程中,壓氣機和渦輪中的轉子以很高的轉速做定軸回轉運動,其中,各級轉子葉片的頂端(葉尖)與機匣內壁之間的徑向間距被稱為葉尖間隙(Tip Clearance)。葉尖間隙是關系到發動機性能的重要參數之一,間隙過大,會使葉尖泄露增大,導致發動機效率下降,甚至造成發動機喘振;而間隙過小,則有可能導致葉片頂端與機匣內壁之間發生碰撞和摩擦,影響發動機的安全運轉,甚至造成發動機損壞,給飛行帶來巨大的安全隱患。


因此,采取必要的測試手段對發動機的轉子葉尖間隙進行實時有效測量,從而掌握葉尖間隙的變化規律,對于監測發動機的工作狀態,進而實現發動機整個運行過程的直接監測和故障診斷,都具有著重要而深遠的意義。目前,葉尖間隙的測量方法主要有放電探針測量法、電渦流測量法和電容測量法等。放電探針法適用于導電材質的葉片,而且只能測量旋轉葉片的最小葉尖間隙;電渦流法要求葉片材質具有導電性,并且葉尖端面要具有一定的厚度;電容法的頻率響應性能較差,而且要求葉片材料必須是鐵性材料,應用范圍受到一定限制。可見,傳統的測量方法存在著諸多局限性,不利于葉尖間隙測量任務的完成。


隨著光學、電子學和傳感技術等學科的發展與進步,許多光電傳感器和測量方法被引入到航空領域中,成功地解決了許多傳統測量技術難以或者無法解決的問題。其中,光譜共焦位移傳感器是近年來新出現的一種非接觸式的高精度光電位移傳感器,基于光譜色散原理,能夠將位移信息編碼到波長信息中,再通過光譜分析技術得出被測位移,系統的分辨率可以達到微納米量級,響應頻率能夠達到千赫茲量級。與傳統的激光三角反射式位移傳感器相比,光譜共焦位移傳感器對被測表面的要求更低,允許被測表面有較大的傾斜角度。此外,它還具有精度高、絕對式測量、便于小型化以及對雜散光有較強的魯棒性等特點,應用前景十分廣闊。國內的馬小軍等提出了基于光譜共焦傳感器的金屬薄膜厚度測量技術,利用相向對頂安裝的傳感器組、精密位移平臺等實現了對厚度為10~100μm的自支撐金屬薄膜的厚度及厚度分布的精確測量。朱萬彬等研究了將光譜共焦位移傳感器用于測量透明材料平板厚度的可行性,并對其產生的誤差進行了詳細分析,給出了相應的補償方法。陳挺等在論述光譜共焦技術原理的基礎上,列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用,探討了共焦技術在未來精密測量領域中的進一步應用。


為了實現航空發動機轉子葉尖間隙的實時精確測量,本文提出了一種基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法。搭建了葉尖間隙模擬測試系統,將模擬葉盤零件安裝在氣浮主軸上,以模擬發動機轉子,并將光譜共焦位移傳感器固定在剛性支架上,通過支架的調整使傳感器處于正確的工作位置。在實驗過程中,首先進行單次測試,完成了單個葉片頂端位移變化量的測量;然后進行連續測試,旋轉模擬葉盤,完成了該葉盤周向上36個葉片頂端位移變化量的連續測量,從而模擬了在發動機環境中的實際應用效果。實驗結果表明,本文選用的光譜共焦位移傳感器具有很高的測量精度和響應頻率,并且體積小、便于安裝,能夠滿足發動機葉尖間隙的測量需求。


1光譜共焦位移傳感器的基本原理

光譜共焦測量技術最早由Molesini等人提出,并成功應用于表面輪廓儀。隨后,許多科研人員都對基于光譜共焦原理的測量技術開展了深入研究,并在宏觀和微觀測量領域衍生出了許多應用實例。目前,國外的工業級光譜共焦位移傳感器的測量精度已達到亞微米級,響應頻率已達到幾千赫茲。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

1光譜共焦位移傳感器的工作原理


光譜共焦位移傳感器是在共焦顯微鏡的基礎上發展起來的,其原理類似于共焦顯微鏡,但又有所不同。如圖1所示,傳感器主要由探頭和光譜分析儀兩部分組成,二者可通過光纖連接進行信號傳輸。其中,探頭主要由光源和光學透鏡組等構成。光源采用寬光譜的復色點光源(呈白光),其出射光束經過前置透鏡組后變為多色平行光;然后通過后面的色散透鏡組進行光譜分光,形成一系列波長不同的單色光,并將其進行同軸聚焦。由此產生光譜色散,將不同波長的光的焦點分散在光軸上的不同位置,從而在有效量程范圍內形成了一系列焦點,每個焦點處的單色光波長都對應一個軸向位置,由此將位移信息轉換為波長信息。最后,聚焦于被測物體表面的單色光被反射回來,通過分光鏡進入成像透鏡組并最終成像在針孔像面上。在此過程中,對應被測表面位置并滿足共焦條件的單色光將進入針孔到達光譜分析儀,以進行后續處理;而離焦反射的其它光譜則被針孔遮擋,不能進入光譜分析儀。


進入針孔的單色光到達光譜分析儀后,可以根據光信號確定出此單色光的波長。由于每個波長都對應著一個距離值,因而根據波長就可以推算出相應的位移量,實現位移的精確分辨。光譜分析儀得到的光譜響應曲線如圖2所示,橫坐標表示波長λ,縱坐標表示對比度I。對于得到的光譜響應曲線,其峰值波長在555nm處,如果被測物體發生微小位移,那么在光譜分析儀上就可以得到另外一條光譜響應曲線,從而獲得另一個峰值,這兩個峰值之差所代表的位移可以根據色散和波長的關系得出。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

2光譜響應曲線(長波/nm


正是基于這種獨特原理,使得光譜共焦位移傳感器在位移測量上能夠達到很高的分辨率和精度。對于單層和多層的透明物體,除了能準確測量該物體位移之外,還可以對其厚度進行單方向測量。如在測量薄玻璃片時,其前后表面都會反射特定波長的光,在光譜分析儀上能夠獲得具有兩個峰值的光譜曲線,通過這兩個峰值就可以推算出玻璃的厚度,這在檢測一些很薄的物體時非常有效,如檢測玻璃紙的厚度等。如果將光譜共焦位移傳感器配置在二維掃描裝置上,還可以用于測量物體的表面形貌,而普通的共焦顯微鏡則需要三維掃描裝置才能夠實現物體形貌的測量。


2葉尖間隙模擬測試系統

由于壓氣機的工作溫度不是很高,而且光學環境較好,因此特別適合采用光電傳感器對葉尖間隙進行測量。在測量過程中,將傳感器固定在靜子機匣的內壁上,通過傳感器可以獲得葉尖與傳感器之間徑向距離d1,再與傳感器到機匣內壁之間的距離d2相加,即可得到待測的葉尖間隙d的值,即d=d1+d2,如圖3所示。而在實際使用過程中,由于傳感器與靜子機匣的相對位置固定,因而d2的數值不會發生變化,因此葉尖間隙的變化量可以通過d1來表征。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

3葉尖間隙的計算示意圖


為模擬實際的測量現場,本文搭建了葉尖間隙模擬測試系統,如圖4所示,主要包括光譜共焦位移傳感器、剛性支架、模擬葉盤、氣浮主軸、減振底座以及工控機等。首先,將剛性支架和氣浮主軸固定在減振底座上,并調整它們之間的相互位置。其次,應用工裝夾具將光譜共焦傳感器安裝在剛性支架上,由于該傳感器采用側向出光方式,其位移測量的方向與自身軸線垂直,因此應通過微調機構調整其空間方位,使傳感器的軸線與氣浮主軸的軸線平行。然后,將模擬葉盤安裝在氣浮主軸上,由于發動機轉子的轉速很高,因而整個氣浮主軸系統在使用前需要經過動平衡調節,以使其在高速狀態下穩定運轉,不發生危險。最后,調整光譜共焦傳感器的軸向位置,使其測量光束能夠照射到模擬葉盤零件的葉尖上,在葉尖端面上形成測量點,并處于量程范圍內。另外,在氣浮主軸上還安裝有轉速同步器,以用于監測主軸的轉速和轉角位置,并將其作為光譜共焦傳感器的同步信號。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

4葉尖間隙模擬測試系統的結構簡圖


在間隙傳感器方面,如圖5所示,主要由控制器和探頭組成,它們由一根光纖連接,控制器通過光纖向探頭提供光源,探頭再通過光纖將光信號傳輸到控制器中進行光譜分析。該測量系統可以對漫反射或鏡面反射物體進行高精度的位移測量,還可以對透明物體的厚度進行測量。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

5光譜共焦測量系統


控制器具有優異的信噪比,能夠滿足高精度測量的需求,測量速率可以達到10kHz,并且具有快速表面補光功能,可以通過控制曝光時間來達到較高的信號穩定性。數據輸出可以通過EthernetEtherCATRS422或模擬量輸出來實現。探頭為光譜共焦式復合探頭,采用無磨損透鏡系統設計,可以進行徑向測量,還能用于有防爆要求的工作領域與真空環境。該探頭應用梯度指數透鏡與光纖的復合技術,具有更大的數值孔徑,因此可有效增大安全距離并加大安裝傾斜角度。


3? ? ?實驗驗證

本文選取的光譜共焦位移傳感器具有較小的尺寸結構和較高的響應頻率,非常適合于航空發動機內狹小而惡劣的工作環境,因此在葉尖間隙測量方面具有很大的應用潛力。為了驗證該型傳感器在發動機葉尖間隙測量中的應用效果,本文在所搭建的葉尖間隙模擬測試系統上進行了單次和連續的測試實驗,完成了傳感器應用效果的綜合驗證。


3.1? ?單次測試

在本文搭建的模擬測試系統中,沒有設計發動機機匣的模擬零件,因此間隙傳感器通過剛性支架來模擬在機匣內壁上的安裝狀態。在葉片劃過測量區域的過程中,傳感器的輸出為葉尖端面與傳感器之間位移值,即d1。由于葉尖端面的厚度很小,因而葉尖間隙值可通過單個葉片劃過時傳感器的輸出量的平均值來表征,實驗現場如圖6所示。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

6單次測量實驗現場


通過變頻器控制氣浮主軸的轉速,使其以緩慢速度帶動模擬葉盤勻速轉動。當葉片頂端進入光譜共焦傳感器的測量范圍內時,觸發傳感器開始數據采集;當葉片頂端轉出傳感器的測量范圍時,傳感器停止數據采集。在葉片頂端劃過傳感器測量范圍的過程中,傳感器采集到的測量數據如圖7所示。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

7單個葉尖間隙的測量數據


從圖7中可以看出,傳感器在被測葉片頂端劃過的過程中共采集到580個數據點,被測葉片頂端的位移變化量的范圍為0.8311~0.8411mm,變化量的均值為0.8374mm,方差為0.0020mm。實驗結果表明,應用光譜共焦位移傳感器能夠滿足單個葉片葉尖間隙的測量,可以達到較高的測量精度。


3.2? ?連續測試

通過控制變頻器調節氣浮主軸的轉速,使其帶動模擬葉盤以1000r/min的速度回轉。應用光譜共焦位移傳感器進行模擬葉盤周向上的36個葉片的葉片頂端位移變化量的數據采集,并以平均值作為每個葉片最終的葉尖間隙值,動態測試的實驗現場如圖8所示。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

8連續測量實驗現場


計算得到的模擬葉盤周向上的36個葉片的葉尖間隙的實驗數據如表1所示,同時為了便于觀察葉尖間隙的變化趨勢,將這些數據顯示在同一坐標系中,如圖9所示。可以看出,在本文所搭建的葉尖間隙模擬測試系統中,應用光譜共焦位移傳感器可以完成對模擬葉盤全部葉片的葉尖間隙的測量。傳感器能夠達到很高的測量精度和響應頻率。從表1和圖9中可以看出,該模擬葉盤上36個葉片的葉尖間隙值的變化范圍為0.7137~0.8438mm,并且呈現為近似正弦曲線的形狀,這主要是由于在將模擬葉盤安裝在氣浮主軸上時,存在一定的偏心誤差造成的。由此可以看出,發動機轉子不同軸會對葉尖間隙造成影響,因而在發動機的裝配過程中,應控制轉子系統的不同軸誤差在允許的范圍內。

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究

9連線測量的實驗數據(葉片序號)


136個葉片的葉尖間隙的實驗數據

基于光譜共焦技術的葉尖間隙測量方法研究


4? ? ?結論

針對航空發動機轉子葉尖間隙的測量問題,本文探索了光譜共焦位移傳感器在此方面的應用效果。光譜共焦位移傳感器基于光譜色散原理,探頭體積小、安裝方便,并且能夠達到很高的測量精度和響應頻率,能夠滿足葉尖間隙的測量需求。本文搭建了葉尖間隙模擬測試系統,應用光譜共焦位移傳感器對安裝在氣浮主軸上的模擬葉盤進行測量,采集葉片頂端位移變化量的數據。在實驗驗證過程中,本文既通過單次測量完成了單個葉片逐個檢測,又通過連續測量完成了旋轉狀態下的每個葉片葉尖間隙的數據采集,系統具有良好的應用性能。實驗結果表明,光譜共焦位移傳感器可以用于發動機轉子葉尖間隙的測量,從而為我國航空發動機技術的進步提供了一項測試技術支持。



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    2023 - 02 - 20
    1、激光位移傳感器在輪胎轉速測量中有重要作用。通常,一臺汽車的輪胎都包含有激光位移傳感器,它可以準確地測量出車輪的輸出速度。該傳感器利用輪胎上繞著水平或垂直線的激光點來測量輪胎行駛距離和變速器輸出轉速,從而確定變速比。此外,它還能準確地測量車輪上的前后運動,特別是對于汽車行駛的直線行駛和轉彎的控制都有著重要的作用。2、激光位移傳感器在防撞技術中也得到了廣泛應用。它通常會被安裝在前臉和側面,通過測量前臉物體和周圍物體的距離來調整外防撞車身和限速 門控駕駛,從而有效地防止汽車發生碰撞,保護汽車行駛的安全。 3、激光位移傳感器在停車技術中也得到了廣泛應用。它不僅可以測量汽車行駛距離、角度和速度,還可以準確地記錄汽車在停車時的位置,并在遇到障 害的情況下立即觸發保護電路或自動脫離,從而避免發生碰撞事故。 4、激光位移傳感器也被廣泛用于汽車行駛輔助系統中,它可以準確地測量出汽車行駛距離、方向及車速, 為汽車駕駛員提供實時信息,以增加駕駛操控質量,幫助駕駛員進行準確的行駛安排和調整。 5、激光位移傳感器也在汽車懸掛系統中得到應用,它可以測量每個車輪的距離及方向,并建立一個三維的實時圖像 。這種三維的實時圖像可以非常準確地反映出汽車懸掛系統的表現,從而使汽車行駛的平穩性和操控性都大大提高。6、激光位移傳感器還可用于汽車智能輔助駕駛系統中, 這種系統結合了導航、安全顯...
  • 7
    2024 - 11 - 24
    樣品檢查報告書添加圖片注釋,不超過 140 字(可選)□ 全部可檢出 □ 全部可檢出(存在過度判定) ■ 部分可檢出(6個孔中有2個可檢出) □ 不可檢出 □ 需要追加檢查檢查結果】由于未收到客戶對于本次檢查對象孔洞的判定結果,我們已通過?視確認將可?的劃痕作為缺陷進?了檢測。在6個被檢孔洞中,有2個孔洞通過?視檢測到了可?的劃痕。剩余的4個孔洞,?論是通過?視還是數據分析,均未發現劃痕或其他缺陷,因此未檢出。(請參考第5?及之后的成像數據)【制造商意?】請客戶也確認本次檢測出的缺陷部位是否符合缺陷規格,即這些是否確實為應檢出的缺陷。另外,在檢測出缺陷的第②和第⑤個?作件中,還存在對?缺陷部位的誤檢。如果是在清洗前的狀態下進?檢查,由于污垢的附著,可能會導致難以捕捉到真正的缺陷部位,或者像本次?樣,將污垢誤判為缺陷。因此,如果考慮引?系統進?檢測,請考慮將其安排在清洗后的?序中進?。此外,關于④A和④B兩個孔洞,由于本次提供了切割?作件作為樣本,因此能夠進?拍攝。但在正規產品中,可能會因為探頭?架等部件的接觸??法進?全?度的檢查。考慮到實際的檢查環境,我們認為有必要評估在產品狀態下進?檢查的可?性。(詳情請參閱第3?)【后續推進?案】基于本次結果,如果您考慮引?內孔瑕疵檢測系統,我們?先建議在圖紙上評估④A和④B部位在產品狀態下是否可以進?檢查,并隨后進?n次追加驗證(有償)。在...
  • 8
    2020 - 09 - 14
    現如今在很多的行業里面都離不開激光位移傳感器的應用,因為這種特殊激光位移傳感器特點?是能夠對長度以及方位等來進行高精度的準確測量,而且用起來簡便且很耐用所以受到了無數用戶們的認可。而面對市場上眾多的激光位移傳感器品牌用戶們究竟該怎么去選擇呢?一、根據需要測量的目標結構與材質進行選擇激光位移傳感器雖然有著強大的測量功能,但是對于測量的目標結構與材質也是有著相應的需求的,因為激光位移傳感器的測量過程是需要一個完整三角光路的,如果被測量目標的表面凹入不平就會造成三角光路無法形成,這樣的話自然也就無法順利的得到測量數據了。如果被測量目標的表面吸光這樣也是無法形成完整三角光路進而無法完成測量工作的,因此用戶們在選擇激光位移傳感器產品之時應著重考慮到這些問題才行。二、根據參數指標的實際要求進行選擇激光位移傳感器如今在制造業內有著很多的應用特別是對電子行業更是如此,而在選擇這種產品時也應當根據具體所需的參數指標的來進行針對性選擇才行。事實上這里所說的參數及指包含的面比較廣比如說分辨率還有測量的速率等,因為對零部件生產的要求越是精密那么對它的要求也自然要更高也只有這樣才能生產制造出真正的好產品。雖然激光位移傳感器功能眾多在生產過程當中的重要性是很明顯的,但是在選擇激光位移傳感器的時候還是不能盲目應當遵循著上述這兩個方面的原則,只有這樣才能在眾多的激光位移傳感器品牌當中順利地找到更能夠滿足自身實際需...
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激光測振技術:旋轉機械檢測的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉機械的運行過程中,振動情況直接關乎其性能與安全。激光測振動傳感器憑借其獨特優勢,成為該領域不可或缺的檢測利器。它采用非接觸式測量,有效避免了對旋轉機械的物理干擾,確保測量的精準性。其高精度的特性,能夠捕捉到極其微小的振動變化,為故障診斷提供可靠依據。廣泛的應用范圍涵蓋了電機、風機、軸承等各類旋轉機械,在能源、化工、機械制造等眾多行業都發揮著關鍵作用。通過實時監測振動數據,可及時發現潛在問題,預防設備故障,保障生產的連續性與穩定性,大大降低維修成本與停機風險。工作原理:激光與振動的深度互動激光測振動傳感器基于激光多普勒效應工作。當激光照射到旋轉機械的振動表面時,由于物體表面的振動,反射光的頻率會發生多普勒頻移。設激光源發射的激光頻率為,物體表面振動速度為,激光波長為,則多普勒頻移可由公式計算得出。通過精確測量多普勒頻移,就能得到物體表面的振動速度,進而獲取振動信息。與傳統測量原理相比,激光多普勒測振具有顯著優勢。傳統的接觸式測量方法,如壓電式傳感器,需要與被測物體直接接觸,這不僅會對旋轉機械的運行產生一定干擾,還可能因安裝問題影響測量精度,而且在高速旋轉或微小振動測量時,接觸式傳感器的響應速度和精度受限。而激光測振傳感器采用非接觸式測量,避免了對旋轉機械的物理干擾,可實現高精度、寬頻帶的測量,適用于各種復雜工況下的旋轉機械振動測量。實驗設置:精準測量的基石(一)微型激光多普勒測...
光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術優勢的新型幾何量精密測量傳感器。以下將對光譜共焦傳感器進行詳細介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長的光在被測物體表面反射后,通過色散物鏡聚焦在不同位置,從而建立位移和波長之間的關系。光源發出的光經過色散物鏡后,不同波長的光聚焦在不同的軸向位置。當被測物體處于某一特定波長的焦點位置時,該波長的光被反射回傳感器,通過成像光譜儀檢測到該波長的光,從而確定被測物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**:通常為寬光譜光源,能夠提供一定波長范圍的光。例如,在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長范圍,以滿足不同測量需求。2. **色散物鏡**:是光譜共焦傳感器的關鍵組成部分之一。它能夠將不同波長的光聚焦在不同的軸向位置,從而實現對被測物體位置的精確測量。設計色散物鏡時,需要考慮多個因素,如測量范圍、圖像空間數值孔徑、軸向響應等。例如,有研究設計的色散物鏡測量范圍為 2mm,圖像空間數值孔徑為 0.3,軸向響應 FWHM 優于 5μm,分辨率較高,并且波長與位移之間的判定系數優于 0.9,線性關系良好。3. **成像光譜儀**:用于檢測反射回來的光,并確定其波長。在一些研究中,采用棱鏡 - 光柵分光的方式對成像光譜儀的后端進行模擬和分析,消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...
光譜共焦位移傳感器制造技術詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器,廣泛應用于光學鏡片檢測、半導體制造、醫療器械生產等多個領域。本文詳細闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術,包括生產技術細節、工藝流程以及需要注意的具體事項,為相關領域的研發和生產提供參考。引言隨著精密儀器制造業的發展,對于工業生產測量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實時無損檢測等特性,成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術,包括關鍵零部件的選擇、生產工藝流程以及制造過程中需要注意的事項。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉換成波長信息,再利用光譜儀進行光譜分解,反解得出被測位移。其中,色散鏡頭作為光學部分完成了波長和位移的一一映射,是傳感器的核心部件。二、關鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源,其光譜分布范圍廣泛,能夠滿足不同測量需求。同時,白光LED具有壽命長、穩定性好等優點,適合用于工業生產環境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關鍵部件,其性能直接影響傳感器的測量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時,需要考慮其軸向色散與波長之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號,并確定其波長,從而實現位移分辨。在選擇...
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