摘要：基膜厚度是許多工業領域中重要的參數，特別是在薄膜涂覆和半導體制造等領域。本報告提出了一種基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案，該方案采用非接觸測量技術，具有高重復性精度要求和不損傷產品表面的優勢。通過詳細的方案設計、設備選擇和實驗驗證，展示了如何實現基膜厚度的準確測量，并最終提高生產效率。引言基膜厚度的精確測量對于許多行業來說至關重要。傳統測量方法中的接觸式測量存在損傷產品表面和對射測量不準確的問題。相比之下，高精度光譜感測技術具有非接觸、高重復性和高精度的優勢，因此成為了基膜厚度測量的理想方案。方案設計基于高精度光譜感測的基膜厚度測量方案設計如下：2.1 設備選擇選擇一臺高精度光譜感測儀器，具備以下特點：微米級或亞微米級分辨率：滿足對基膜厚度的高精度要求。寬波長范圍：覆蓋整個感興趣的波長范圍?？焖俨杉俣龋耗軌蚩焖佾@取數據，提高生產效率。穩定性和重復性好：確保測量結果的準確性和可靠性。2.2 光譜感測技術采用反射式光譜感測技術，原理如下：在感測儀器中，發射一個寬光譜的光源，照射到待測樣品表面。根據不同厚度的基膜對光的反射率不同，形成一個光譜反射率圖像。通過對反射率圖像的分析和處理，可以確定基膜的厚度。2.3 實驗設計設計實驗驗證基膜厚度測量方案的準確性和重復性。選擇一系列已知厚度的基膜作為標準樣品。使用高精度光譜感測儀器對標準樣品進行測量，并記錄測量結果。重復多次測量，并計...
發布時間:
2023
-
08
-
21
瀏覽次數：72
現如今在很多的行業里面都離不開激光位移傳感器的應用，因為這種特殊激光位移傳感器特點?是能夠對長度以及方位等來進行高精度的準確測量，而且用起來簡便且很耐用所以受到了無數用戶們的認可。而面對市場上眾多的激光位移傳感器品牌用戶們究竟該怎么去選擇呢？一、根據需要測量的目標結構與材質進行選擇激光位移傳感器雖然有著強大的測量功能，但是對于測量的目標結構與材質也是有著相應的需求的，因為激光位移傳感器的測量過程是需要一個完整三角光路的，如果被測量目標的表面凹入不平就會造成三角光路無法形成，這樣的話自然也就無法順利的得到測量數據了。如果被測量目標的表面吸光這樣也是無法形成完整三角光路進而無法完成測量工作的，因此用戶們在選擇激光位移傳感器產品之時應著重考慮到這些問題才行。二、根據參數指標的實際要求進行選擇激光位移傳感器如今在制造業內有著很多的應用特別是對電子行業更是如此，而在選擇這種產品時也應當根據具體所需的參數指標的來進行針對性選擇才行。事實上這里所說的參數及指包含的面比較廣比如說分辨率還有測量的速率等，因為對零部件生產的要求越是精密那么對它的要求也自然要更高也只有這樣才能生產制造出真正的好產品。雖然激光位移傳感器功能眾多在生產過程當中的重要性是很明顯的，但是在選擇激光位移傳感器的時候還是不能盲目應當遵循著上述這兩個方面的原則，只有這樣才能在眾多的激光位移傳感器品牌當中順利地找到更能夠滿足自身實際需...
發布時間:
2020
-
09
-
14
瀏覽次數：358
目前國內激光位移傳感器在鋰電行業的應用種類和方案情況主要包括以下幾個方面：電池生產：激光位移傳感器可以用于電池生產過程中的位置測量和定位。在鋰電池生產線上，傳感器可以用于測量電池極片、電池蓋板和電池內部構件的位置，以確保組裝過程的準確性和一致性。電池測試：激光位移傳感器可以用于鋰電池的測試過程中，例如測量電池的厚度、容量和內部電阻等參數。傳感器的高精度和穩定性能可以保證測試結果的準確性，幫助優化電池設計和質量控制。電池管理：激光位移傳感器在鋰電池管理系統中的應用較為廣泛。傳感器可以用于測量電池的瞬時電壓、溫度和電流等參數，以實時監測電池狀態，幫助控制電池的充放電過程，保證電池的安全和性能。國內激光位移傳感器和進口傳感器相比，存在以下優勢和劣勢：優勢：價格優勢：國內激光位移傳感器的價格相對較低，可以降低鋰電行業的成本。技術逐步提升：國內激光位移傳感器的技術水平正在逐步提升，性能在不斷改善，已經能夠滿足大部分應用需求。定制化能力：國內激光位移傳感器生產商根據用戶的需求可以進行定制開發，提供更符合特定應用場景的解決方案。劣勢：目前進口傳感器在精度和穩定性方面仍具有一定優勢。進口傳感器品牌在長期的技術沉淀和市場認可度上較為占優勢。部分高端應用場景對傳感器的要求非常嚴苛，國內激光位移傳感器在這些領域還需要不斷提升技術水平。市場前景展望：隨著鋰電行業的長期發展和智能化需求的增加，激光位移傳感器...
發布時間:
2023
-
08
-
21
瀏覽次數：94
細說光譜共焦傳感器相對三角回差原理激光位移傳感器的優點 更小的測量盲區:同軸式測量配置， 避免了激光三角傳感器的角度限制， 縮小測量盲區，適合復雜細微結構（如深溝槽結構等） 的測量。更高精度的尺寸及位移復現能力。 高靈敏度光學非接觸測量：針對光譜共焦位移傳感器研制開發的TS-CC物鏡能夠實現最小10微米的成像光斑， 同時提高測量線性精度。 多膜層/多層玻璃測厚能力：針對光譜共焦位移傳感器定制開發的雜散光抑制優化光譜儀以及高亮度彩色光源， 都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度， 能夠對表面返回的極弱的光強（如薄膜等透明物體） 完成測量。 光譜共焦傳感器適合各種材料的測量， 并能確保對不同材料的測量性能， 同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。不受電噪聲干擾的探頭：安裝于測量現場的探頭是純光學器件， 通過光纖與控制器連接， 因此可以避免現場電磁干擾對測量精度的影響。 探頭口徑可以設計到Φ10mm以下， 適合并排布置進行多個關鍵位置的測量。 同時探頭可以設計到±60°的測量角度， 滿足曲面玻璃的測量。 光譜共焦擁有適用于任何材質的高精度測量能力 ：對不同結構特征的物體實現精確測量 ：1...
發布時間:
2022
-
10
-
23
瀏覽次數：155