一款結(jié)合激光測振傳感器和數(shù)字顯微鏡的一體化測量系統(tǒng),
可廣泛使用在微結(jié)構(gòu)的振動特性測量領(lǐng)域中,如顯微材料測試、半導(dǎo)體領(lǐng)域測試和微機(jī)電測試。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
? 影像指示測量位置?
?? 光學(xué)變焦、數(shù)字變焦,最大放大倍數(shù)450倍?
?? 1310nm 測量光+ 655nm 紅光指示?
?? 測量光斑大小 <100um?
?? X/Y/Z 三維調(diào)節(jié)能力?
?? 振動檢測分辨率 ≤1nm?
?? DC~2.5MHz 測量范圍?
?? 支持同步觸發(fā)測量?
?? 最大振動量測量能力 20m/s
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