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專業(yè)從事激光位移傳感器，激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司
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  • 17
    2023 - 03 - 07
    本次應(yīng)用報(bào)告旨在介紹超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)過(guò)程中測(cè)量卷繞直徑的應(yīng)用情況。首先，本文將介紹超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn)，然后詳細(xì)介紹其在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用情況，并對(duì)其應(yīng)用效果進(jìn)行評(píng)估和總結(jié)。一、超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn)超聲波測(cè)距傳感器是一種通過(guò)超聲波測(cè)量距離的傳感器，其測(cè)量原理非常簡(jiǎn)單，就是利用超聲波在空氣中的傳播速度快，而且與環(huán)境中的溫度、濕度等因素?zé)o關(guān)的特點(diǎn)。具體來(lái)說(shuō)，超聲波測(cè)距傳感器通過(guò)發(fā)射超聲波信號(hào)，當(dāng)這些信號(hào)遇到物體時(shí)就會(huì)反射回來(lái)，傳感器通過(guò)感受這些反射信號(hào)的到達(dá)時(shí)間，從而計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。超聲波測(cè)距傳感器具有響應(yīng)速度快、距離測(cè)量范圍廣、測(cè)量精度高和使用方便等特點(diǎn)。因此，在工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人、汽車和航空等領(lǐng)域已經(jīng)廣泛應(yīng)用。二、超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用鋰電池的核心部件是電芯，而電芯的生產(chǎn)過(guò)程中就需要進(jìn)行鋰電池卷繞。卷繞的直徑大小對(duì)于電芯的性能有很大的影響。因此，測(cè)量卷繞直徑是電芯生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用拉尺、卡尺等工具進(jìn)行物理測(cè)量，但是由于電芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、精度要求高、測(cè)量效率低等因素，往往會(huì)出現(xiàn)誤差較大的情況。超聲波測(cè)距傳感器可以很好地解決這個(gè)問(wèn)題。具體來(lái)說(shuō)，在電芯卷繞時(shí)，只需要將超聲波測(cè)距傳感器置于卷繞機(jī)上方，然后通過(guò)發(fā)射超聲波信號(hào)測(cè)量卷繞軸的直徑大小即可。由于超聲波的反射信號(hào)可以穿透物體，因此不會(huì)對(duì)...
  • 18
    2023 - 09 - 25
    由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性，對(duì)晶圓切割的技術(shù)要求極高，傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無(wú)法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢(shì)。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo)，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據(jù)這個(gè)能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例：以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例，晶圓經(jīng)過(guò)深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后，需要進(jìn)行精確切割。在這個(gè)過(guò)程中，首先，工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑，然后切割機(jī)通過(guò)光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過(guò)程工程師可以實(shí)時(shí)觀察和測(cè)量切口深度和位置。優(yōu)點(diǎn)：這種技術(shù)最大的優(yōu)勢(shì)就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割，避免了大功率激光對(duì)芯片可能會(huì)帶來(lái)的影響。另外，因?yàn)榍懈畹纳疃群臀恢每梢詫?shí)時(shí)調(diào)控，這 法也非常具有靈活性。同時(shí)，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來(lái)的晶圓表面平整，質(zhì)量更好。總的來(lái)看，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用，不僅提升了生產(chǎn)效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量，對(duì)于當(dāng)前和未來(lái)的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個(gè)革新的技...
  • 19
    2024 - 03 - 05
    非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢(shì)，下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析，并通過(guò)具體的應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)說(shuō)明其應(yīng)用價(jià)值。同時(shí)，還會(huì)與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較，以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。精度：非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測(cè)量法，具有極高的測(cè)量精度。例如，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要精確控制薄膜的厚度，非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的測(cè)量精度，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測(cè)量精度。速度：非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。例如，在包裝機(jī)械中，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)包裝材料的位置和速度，非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化，從而確保包裝過(guò)程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測(cè)量速度。可靠性：非接觸式激光位移傳感器無(wú)需與目標(biāo)物體直接接觸，因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外，非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力，可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性：非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測(cè)量需求，通過(guò)調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測(cè)量。此外，非接觸式傳感器還可以與計(jì)算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理...
  • 20
    2023 - 03 - 08
    一、概述隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展和進(jìn)步，精度對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中所需要的各種測(cè)試測(cè)量技術(shù)要求也越來(lái)越高。而激光測(cè)量技術(shù)則是在這種背景下得以應(yīng)用的，這是利用激光作為工具進(jìn)行測(cè)量分析的一種方法。激光測(cè)量可以分為非接觸式和接觸式兩種方式。二、非接觸激光測(cè)量非接觸激光測(cè)量技術(shù)是指激光束在不與被測(cè)物體表面發(fā)生接觸的情況下，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行測(cè)量操作。它主要利用激光的高亮度、高單色性、高方向性等特點(diǎn)，將測(cè)量對(duì)象和激光之間的無(wú)線電輻射或光輻射聯(lián)系起來(lái)，通過(guò)對(duì)測(cè)量信號(hào)的處理，來(lái)獲得被測(cè)物體的相關(guān)參數(shù)。可以廣泛應(yīng)用于自動(dòng)化制造、工業(yè)檢測(cè)、生命科學(xué)、質(zhì)量控制檢測(cè)等領(lǐng)域。2.1 非接觸式測(cè)量?jī)?yōu)點(diǎn)（1）不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成損傷。激光測(cè)量技術(shù)是無(wú)損傷性的，測(cè)量過(guò)程中不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷，也不會(huì)影響被測(cè)物體的結(jié)構(gòu)、形狀和性能。（2）精度高。非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有高精密性、高靈敏性和高分辨力，能夠以亞微米級(jí)的精度獲得被測(cè)物體的相關(guān)參數(shù)，減小了人為誤差和測(cè)量結(jié)果的不確定性。（3）高速度。非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有快速高效的特點(diǎn)，對(duì)于一些需要進(jìn)行即時(shí)在線檢測(cè)或高頻率的質(zhì)檢要求，非接觸激光測(cè)量技術(shù)具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。（4）測(cè)量安全。由于非接觸激光測(cè)量技術(shù)可以在安全距離的范圍內(nèi)進(jìn)行，因此保障了測(cè)量人員的身體健康和安全。2.2 非接觸式測(cè)量缺點(diǎn)（1）不適用于暗面測(cè)量。非接觸激光測(cè)量技術(shù)無(wú)法對(duì)于有光線被擋住的部位進(jìn)行測(cè)量，因此適用于透...
  • 21
    2023 - 09 - 25
    在高精度的生產(chǎn)工序中，薄膜偏差是一項(xiàng)極為重要的控制指標(biāo)。由于微觀材料結(jié)構(gòu)的敏感性，稍有偏差就可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的細(xì)微變形，從而引發(fā)性能下降、使用壽命縮短等一系列問(wèn)題。因此，對(duì)薄膜偏差的精確檢測(cè)與實(shí)時(shí)調(diào)控具有至關(guān)重要的意義。對(duì)于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發(fā)揮出它重要的作用。通過(guò)實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的非接觸式實(shí)時(shí)監(jiān)視，它可以有效地預(yù)防或及時(shí)地調(diào)整可能發(fā)生的偏差，提高生產(chǎn)過(guò)程中的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過(guò)物體后的干涉進(jìn)行測(cè)量，借助高精度的光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏的光電檢測(cè)設(shè)備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優(yōu)勢(shì)。它采用集成設(shè)計(jì)，尺寸小巧，可以安裝在設(shè)備內(nèi)的有限空間中，且不會(huì)影響主機(jī)性能。這大大擴(kuò)展了其使用場(chǎng)景，讓即使是較為狹小的環(huán)境也能實(shí)現(xiàn)精確的監(jiān)控。總結(jié)來(lái)說(shuō)，光譜共焦位移傳感器代表著未來(lái)高精密度生產(chǎn)領(lǐng)域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應(yīng)、難以受到環(huán)境干擾等優(yōu)點(diǎn)，還由于其小型化、適用于狹窄環(huán)境等特性，使其逐漸被更多的高科技領(lǐng)域所接受和采納。
  • 22
    2024 - 03 - 05
    激光三角測(cè)量法：精確測(cè)量透明物體的科技新突破在精密測(cè)量領(lǐng)域，激光三角測(cè)量法已成為一種非常重要的技術(shù)手段。這種測(cè)量方法尤其適用于透明物體的測(cè)量，因?yàn)樗梢杂行У亟鉀Q透明物體測(cè)量中的諸多難題。本文將詳細(xì)介紹激光三角測(cè)量法的原理、步驟，以及折射率校正在此過(guò)程中所起到的關(guān)鍵作用。一、激光三角測(cè)量法的原理激光三角測(cè)量法是一種基于光學(xué)三角測(cè)量原理的非接觸式測(cè)量方法。其基本原理是：半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光束照射在目標(biāo)物體上，接收器透鏡聚集目標(biāo)物體反射的光線并聚焦到感光元件上。當(dāng)目標(biāo)物體與測(cè)量設(shè)備之間的距離發(fā)生改變時(shí)，通過(guò)接收器透鏡的反射光的位置也會(huì)相應(yīng)改變，光線聚焦在感光元件上的部分也會(huì)有所不同。通過(guò)精確測(cè)量這些變化，就可以得出目標(biāo)物體的位移、形狀等參數(shù)。二、激光三角測(cè)量法的步驟設(shè)定參照距離：首先，需要設(shè)定一個(gè)參照距離，即在此距離下，激光束與感光元件之間的位置關(guān)系已知且穩(wěn)定。照射激光：然后，通過(guò)半導(dǎo)體激光器發(fā)出激光束，照射在待測(cè)的透明物體上。接收反射光：接收器透鏡會(huì)聚集從透明物體反射回來(lái)的光線，并將其聚焦到感光元件上。分析數(shù)據(jù)：當(dāng)透明物體移動(dòng)或形狀發(fā)生變化時(shí)，反射光在感光元件上的位置也會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)精確分析這些變化，就可以得出透明物體的位移、形狀等參數(shù)。三、折射率校正的作用在測(cè)量透明物體時(shí)，一個(gè)關(guān)鍵的問(wèn)題是需要考慮光的折射現(xiàn)象。由于透明物體的折射率與空氣不同，光線在從空氣進(jìn)入透明物體時(shí)會(huì)發(fā)生折射...
  • 23
    2023 - 03 - 09
    激光位移傳感器被廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域中。其中一個(gè)很有用的應(yīng)用是測(cè)量薄膜厚度。這種傳感器可以在離表面很近的距離下進(jìn)行高精度測(cè)量，因此非常適合這種應(yīng)用。本文將介紹激光位移傳感器如何用于測(cè)量薄膜厚度，包括測(cè)量方法、測(cè)量原理和市場(chǎng)應(yīng)用。一、測(cè)量方法測(cè)量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移傳感器測(cè)量薄膜前后表面的距離差，然后通過(guò)幾何公式計(jì)算出薄膜厚度。在實(shí)際操作中，測(cè)量方法大致可分為以下幾種：1. 手持式測(cè)量手持式測(cè)量通常用于快速的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。用戶只需要將激光位移傳感器靠近待測(cè)表面，然后通過(guò)讀取顯示屏上的數(shù)值判斷薄膜厚度是否符合要求。這種方法不需要復(fù)雜的設(shè)備和步驟，非常易于使用。但是由于人手的震動(dòng)和誤差等因素，手持式測(cè)量的精度相對(duì)較低，只適用于需求不是特別高的場(chǎng)合。2. 自動(dòng)化在線測(cè)量自動(dòng)化在線測(cè)量一般用于工業(yè)生產(chǎn)線上的質(zhì)量控制。這種方法需要將激光位移傳感器與自動(dòng)化設(shè)備相連接，將測(cè)量數(shù)據(jù)傳遞給計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。在這種情況下，測(cè)量過(guò)程可以完全自動(dòng)化，精度也可以得到保證。但是相對(duì)于手持式測(cè)量來(lái)說(shuō)，這種方法需要的設(shè)備和技術(shù)要求更高，成本也更高。3. 顯微鏡下測(cè)量顯微鏡下測(cè)量常用于對(duì)細(xì)小薄膜厚度的測(cè)量。在這種情況下，用戶需要將激光位移傳感器與顯微鏡相結(jié)合進(jìn)行測(cè)量。由于顯微鏡的存在，可以大大增強(qiáng)測(cè)量精度。但是相對(duì)于其他兩種方法，這種方法需要的設(shè)備更多，并且技巧要求也更高。二、測(cè)量原理激光位移傳感器利用的是激光三...
  • 24
    2023 - 09 - 26
    1 激光光熱技術(shù)測(cè)厚：原理是利用激光照射材料，產(chǎn)生的熱量使材料產(chǎn)生變化，再通過(guò)光學(xué)方式檢測(cè)這種變化以確定材料的厚度。優(yōu)點(diǎn)是非接觸式、無(wú)損傷、準(zhǔn)確；缺點(diǎn)也是顯而易見(jiàn)的，對(duì)于顏色、形狀、表面紋理等都有不同程度的影響。2 白光干涉測(cè)厚：原理是使用白光干涉儀產(chǎn)生干涉圖案，然后通過(guò)分析干涉圖案得材料厚度。優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高、靈敏度高；缺點(diǎn)是設(shè)備復(fù)雜且成本高昂。3 激光干涉測(cè)厚：主要是利用激光波的相干性，測(cè)量物體的干涉條紋來(lái)反推出物體的厚度。優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高、速度快；但激光源的穩(wěn)定性和調(diào)節(jié)技術(shù)要求比較高。4 光譜共聚焦測(cè)厚：該方法是根據(jù)材料對(duì)不同波長(zhǎng)光的反射、折射和吸收特性，同時(shí)探測(cè)所有波長(zhǎng)的光譜，從而計(jì)算出材料厚度。優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量準(zhǔn)確、適用范圍廣；缺點(diǎn)是設(shè)備復(fù)雜、操作要求高。5 橢圓偏光法測(cè)厚：原理是利用光的偏振特性對(duì)材料進(jìn)行測(cè)量，根據(jù)計(jì)算出材料厚度。優(yōu)點(diǎn)是接觸、無(wú)損傷，但適用范圍有限。6 紅外吸收法測(cè)厚：紅外吸收法是指通過(guò)測(cè)定紅外光在材料中吸收的程度來(lái)推斷優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單、直觀、精度高；缺點(diǎn)是對(duì)材料的紅外吸收特性有嚴(yán)格要求。7 X/β射線測(cè)厚：主要是利用X射線或者β射線穿透材料時(shí)，穿透的射線強(qiáng)度和物體的厚度之間存在一定的關(guān)系。優(yōu)點(diǎn)是精確、可靠；缺點(diǎn)是人體安全需要考慮。8 電容測(cè)厚：原理是利用兩極板間的電容量與介質(zhì)厚度成正比，通過(guò)測(cè)量電容量來(lái)測(cè)量厚度。優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、便宜；缺點(diǎn)是精度較低。9 反...
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激光測(cè)振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測(cè)的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過(guò)程中，振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測(cè)振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測(cè)利器。它采用非接觸式測(cè)量，有效避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測(cè)量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)數(shù)據(jù)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理：激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測(cè)振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí)，由于物體表面的振動(dòng)，反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動(dòng)速度為，激光波長(zhǎng)為，則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過(guò)精確測(cè)量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動(dòng)速度，進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測(cè)量原理相比，激光多普勒測(cè)振具有顯著優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法，如壓電式傳感器，需要與被測(cè)物體直接接觸，這不僅會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾，還可能因安裝問(wèn)題影響測(cè)量精度，而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測(cè)量時(shí)，接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測(cè)振傳感器采用非接觸式測(cè)量，避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測(cè)量，適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測(cè)量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置：精準(zhǔn)測(cè)量的基石（一）微型激光多普勒測(cè)...
光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢(shì)的新型幾何量精密測(cè)量傳感器。以下將對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長(zhǎng)的光在被測(cè)物體表面反射后，通過(guò)色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長(zhǎng)之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)色散物鏡后，不同波長(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測(cè)物體處于某一特定波長(zhǎng)的焦點(diǎn)位置時(shí)，該波長(zhǎng)的光被反射回傳感器，通過(guò)成像光譜儀檢測(cè)到該波長(zhǎng)的光，從而確定被測(cè)物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長(zhǎng)范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長(zhǎng)范圍，以滿足不同測(cè)量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物體位置的精確測(cè)量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí)，需要考慮多個(gè)因素，如測(cè)量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如，有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測(cè)量范圍為 2mm，圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3，軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm，分辨率較高，并且波長(zhǎng)與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9，線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**：用于檢測(cè)反射回來(lái)的光，并確定其波長(zhǎng)。在一些研究中，采用棱鏡 - 光柵分光的方式對(duì)成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析，消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...
光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng)，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性，成為解決這一問(wèn)題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過(guò)程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過(guò)色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測(cè)位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源，其光譜分布范圍廣泛，能夠滿足不同測(cè)量需求。同時(shí)，白光LED具有壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件，其性能直接影響傳感器的測(cè)量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí)，需要考慮其軸向色散與波長(zhǎng)之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過(guò)小孔的光信號(hào)，并確定其波長(zhǎng)，從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...
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