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圓筒內(nèi)壁檢測(cè)技術(shù)的新突破:激光三角測(cè)距法與機(jī)器視覺的完美結(jié)合
2023
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23
摘要:圓筒內(nèi)壁的檢測(cè)在工業(yè)生產(chǎn)中具有重要意義,傳統(tǒng)方法存在諸多問題。本文介紹了一種新型的檢測(cè)系統(tǒng),該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測(cè)距法和機(jī)器視覺技術(shù),旨在解決傳統(tǒng)方法的不足。新方法可以在高溫環(huán)境下工作,對(duì)小徑圓筒進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度高、速度快。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測(cè),為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)提供了有力支持。關(guān)鍵詞:圓筒內(nèi)壁檢測(cè);機(jī)器視覺;激光三角測(cè)距法;在線檢測(cè)引言圓筒內(nèi)壁檢測(cè)是工業(yè)生產(chǎn)中的重要環(huán)節(jié),其質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和使用壽命。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法存在諸多問題,如檢測(cè)精度不高、速度慢、無法在線檢測(cè)等。為了解決這些問題,本文提出了一種新型的檢測(cè)系統(tǒng),該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測(cè)距法和機(jī)器視覺技術(shù),旨在實(shí)現(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測(cè)。工作原理本系統(tǒng)采用激光三角測(cè)距法作為主要測(cè)量手段。激光三角測(cè)距法是一種非接觸式測(cè)量方法,通過激光投射到被測(cè)物體表面并反射回來,再通過傳感器接收,經(jīng)過處理后可以得到被測(cè)物體的距離和尺寸信息。本系統(tǒng)對(duì)傳統(tǒng)的激光三角測(cè)距法進(jìn)行了改進(jìn),使其能夠在高溫環(huán)境下工作,并對(duì)小徑圓筒進(jìn)行測(cè)量。同時(shí),本系統(tǒng)還采用了機(jī)器視覺技術(shù)進(jìn)行輔助測(cè)量和判斷。機(jī)器視覺技術(shù)是通過計(jì)算機(jī)模擬人類的視覺功能,實(shí)現(xiàn)對(duì)圖像的采集、處理和分析。本系統(tǒng)利用機(jī)器視覺技術(shù)對(duì)圓筒內(nèi)壁表面進(jìn)行圖像采集和處理,通過算法識(shí)別和判斷內(nèi)壁表面的缺陷和尺寸信息。通過將激光三角測(cè)距法和...
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帶您了解激光位移傳感器的原理、應(yīng)用和由來
2023
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02
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21
激光位移傳感器是一種用于測(cè)量距離和輪廓表面的自動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)。它的工作原理是發(fā)射激光束,激光束被目標(biāo)表面或區(qū)域反射,然后光束返回所需的時(shí)間被轉(zhuǎn)換為距離測(cè)量。它的主要應(yīng)用是尺寸計(jì)量,可以精確測(cè)量長度、距離和粗糙度輪廓。激光位移傳感器也用于工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人和機(jī)器視覺應(yīng)用。什么是激光位移傳感器? 激光位移傳感器是一種用于測(cè)量距離和輪廓表面的自動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)。該系統(tǒng)通過從激光源發(fā)射激光來工作。然后,該激光束從目標(biāo)表面或區(qū)域反射回來。然后,光束覆蓋距離和返回所花費(fèi)的時(shí)間被轉(zhuǎn)換為距離測(cè)量或輪廓。激光位移傳感器通常由三個(gè)主要部分組成:*激光源*光學(xué)探測(cè)器*處理器 激光源通常是激光二極管,其波長適合于目標(biāo)區(qū)域及其光學(xué)特性。激光二極管產(chǎn)生激光束,該激光束被引導(dǎo)到目標(biāo)表面或區(qū)域上。然后光束被反射回檢測(cè)器。根據(jù)應(yīng)用,可以用一定范圍的脈沖頻率調(diào)制光束。光束由光學(xué)檢測(cè)器檢測(cè)。檢測(cè)器將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào),然后將其發(fā)送到處理器。然后處理器處理信息并將測(cè)量數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)字顯示器或計(jì)算機(jī)。然后,數(shù)據(jù)可用于進(jìn)一步分析或控制自動(dòng)化過程。歷史: 激光位移傳感器最初是在20世紀(jì)70年代開發(fā)的,是麻省理工學(xué)院研究項(xiàng)目的一部分。這項(xiàng)研究由美國陸軍研究實(shí)驗(yàn)室和美國空軍賴特實(shí)驗(yàn)室贊助。該技術(shù)最...
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利用高速高精度激光位移傳感器測(cè)量低頻物體振動(dòng)以降低使用成本
2023
-
08
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21
摘要:本報(bào)告提出了一種利用高精度激光位移傳感器測(cè)量物體振動(dòng)的方案。通過測(cè)量被測(cè)物的位移量,并確定振動(dòng)的時(shí)間點(diǎn),可以計(jì)算出振動(dòng)頻率和振動(dòng)模式。相比多普勒測(cè)振儀,激光位移傳感器具有更低的成本,在低頻范圍內(nèi)(1000Hz以下)可以進(jìn)行振動(dòng)測(cè)量。本方案詳細(xì)介紹了方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選擇、實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證以及成本核算,并通過實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和算法驗(yàn)證了方案的可行性和準(zhǔn)確性。引言物體振動(dòng)是許多領(lǐng)域的重要研究對(duì)象,包括機(jī)械、汽車、航空航天等。傳統(tǒng)的多普勒測(cè)振儀可以用于高頻振動(dòng)測(cè)量,但其成本較高,對(duì)于低頻振動(dòng)測(cè)量(1000Hz以下)不適用。因此,本方案提出了一種利用高精度激光位移傳感器測(cè)量物體振動(dòng)的方案,以滿足低頻振動(dòng)測(cè)量的需求。方案設(shè)計(jì)利用高精度激光位移傳感器測(cè)量物體振動(dòng)的方案設(shè)計(jì)如下:2.1 設(shè)備選擇選擇一臺(tái)高精度激光位移傳感器,具備以下特點(diǎn):高測(cè)量精度:具備亞微米級(jí)的測(cè)量精度,滿足振動(dòng)測(cè)量的要求。高響應(yīng)頻率:能夠以高速響應(yīng)的方式進(jìn)行位移測(cè)量,捕捉到物體振動(dòng)的細(xì)微變化。寬測(cè)量范圍:具備較大的測(cè)量范圍,適應(yīng)不同物體振動(dòng)的需求。2.2 傳感器布置與測(cè)量原理將激光位移傳感器布置在被測(cè)物體附近,并對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)試。在物體振動(dòng)過程中,傳感器測(cè)量物體的位移量。傳感器工作原理基于激光光束照射到物體表面,測(cè)量光斑的位置隨時(shí)間的變化,從而獲得物體的位移信息。2.3 數(shù)據(jù)處理與振動(dòng)頻率計(jì)算根據(jù)傳感器測(cè)得的位移量數(shù)據(jù),通過數(shù)據(jù)處理和信...
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運(yùn)用高精度激光位移傳感器進(jìn)行非接觸測(cè)量工件傾斜度的應(yīng)用與實(shí)踐
2024
-
01
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21
在制造業(yè)、航空航天、光學(xué)制造等行業(yè)中,準(zhǔn)確地測(cè)量工件表面的平整度和傾斜度對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量、設(shè)備性能和工程安全至關(guān)重要。為了適應(yīng)這一需求,本文將詳細(xì)介紹運(yùn)用高精度激光位移傳感器進(jìn)行非接觸測(cè)量工件傾斜度的具體操作步驟、應(yīng)用領(lǐng)域以及如何通過實(shí)例演示其測(cè)量原理和效果。首先,測(cè)量設(shè)備的配置環(huán)節(jié)。需要準(zhǔn)備3到5個(gè)高精度激光位移傳感器,并配合用于數(shù)據(jù)分析處理的微機(jī)軟件。在開始測(cè)量之前,傳感器需要先行進(jìn)行標(biāo)定,以一個(gè)已知的標(biāo)準(zhǔn)平面作為參照進(jìn)行校準(zhǔn),并讓所有傳感器的數(shù)值歸零。這一步驟保證了測(cè)量過程的準(zhǔn)確性,也為后續(xù)的數(shù)據(jù)分析奠定了基礎(chǔ)。進(jìn)行實(shí)測(cè)時(shí),將待測(cè)工件放置在需要測(cè)量的表面上。根據(jù)物體表面的傾斜情況,每個(gè)傳感器所顯示的數(shù)值會(huì)出現(xiàn)差距。后續(xù),我們可以通過微機(jī)軟件讀取這些二次數(shù)據(jù),進(jìn)行處理,從而精確地得出傾斜度和平整度等參數(shù)。值得注意的是,我們選擇3-5個(gè)傳感器進(jìn)行測(cè)量的原因是,三個(gè)傳感器可以保證確定一個(gè)平面的最少需求。在成本允許的情況下,增加到五個(gè)傳感器進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,可以有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。另外,在使用過程中,對(duì)傳感器的同步性有很高的要求,尤其是采樣速度。最好達(dá)到5k以上,以便實(shí)時(shí)調(diào)整待測(cè)表面,使得調(diào)整結(jié)果更精準(zhǔn),并且滿足實(shí)時(shí)性的需求。當(dāng)然,高精度激光位移傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。在制造業(yè),尤其是汽車制造業(yè)和機(jī)械加工行業(yè)中,通過測(cè)量工件表面的傾斜度和平整度,可以有效進(jìn)行質(zhì)量控制和生產(chǎn)過程優(yōu)化...
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新型安全激光掃描儀的優(yōu)點(diǎn)特性介紹
2023
-
02
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26
今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品,安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域, 在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注,以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能,尤其重視大型工作區(qū)域的防護(hù),例如機(jī)床正面區(qū)域或機(jī)器人工作區(qū)域。 其他應(yīng)用包括移動(dòng)車輛的防護(hù),例如側(cè)向滑動(dòng)裝置或移動(dòng)運(yùn)輸設(shè)備,無人駕駛運(yùn)輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護(hù)系統(tǒng)。盡管我們?cè)诎踩す鈷呙枧c領(lǐng)域,已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗(yàn)了,但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對(duì)許多挑戰(zhàn)。不過我們的激光安全掃描儀具有獨(dú)一無二的功能屬性,例如具有8.25米檢測(cè)距離和270度掃描范圍。 屬于目前市場(chǎng)上的高端設(shè)備,非常適合側(cè)向滑動(dòng)裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長距離的防護(hù)。該設(shè)備的另一個(gè)亮點(diǎn)就是能夠同時(shí)監(jiān)測(cè)兩個(gè)保護(hù)功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中,獨(dú)具優(yōu)勢(shì)以前需要使用兩個(gè)設(shè)備,如今只需要使用一臺(tái)這樣的安全激光掃描儀,即可完成兩臺(tái)設(shè)備的功能。 實(shí)踐中遇到的一項(xiàng)挑戰(zhàn)是設(shè)計(jì)一款異常強(qiáng)骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件,因此我們提供了較分辨率達(dá)到0.1度的設(shè)備。它在目前市場(chǎng)上具有非常高的價(jià)值。 ...
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詳解激光三角位移傳感器的原理及市場(chǎng)應(yīng)用
2023
-
09
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16
大家好,今天給大家詳細(xì)說明下目前我們市面上用的激光位移傳感器內(nèi)部構(gòu)造及詳細(xì)原理、應(yīng)用、市場(chǎng)種類、及未來發(fā)展,我在網(wǎng)上搜索了很多資料,發(fā)現(xiàn)各大平臺(tái)或者廠商提供的信息大多千篇一律或者式只言片語,要么是之說出大概原理,要買只講出產(chǎn)品應(yīng)用,對(duì)于真正想了解激光位移傳感器三角回差原理的朋友們來說總是沒有用辦法說透,我今天花點(diǎn)時(shí)間整理了各大平臺(tái)的大牛們的解釋,再結(jié)合自己對(duì)產(chǎn)品這么多年來的認(rèn)識(shí),整理出以下這篇文章,希望能給想要了解這種原理的小伙伴一點(diǎn)幫助!好了廢話不多說我們直接上干貨首先我們要說明市面上的激光測(cè)量位移或者距離的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF時(shí)間飛行原理,光譜共焦原理和相位干涉原理,我們今天給大家詳細(xì)介紹的是激光三角測(cè)量法和激光回波分析法,激光三角測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量,而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量,下面分別介紹激光三角測(cè)量原理和激光回波分析原理。讓我們給大家分享一個(gè)激光位移傳感器原理圖,一般激光位移傳感器采用的基本原理是光學(xué)三角法:半導(dǎo)體激光器:半導(dǎo)體激光器①被鏡片②聚焦到被測(cè)物體⑥。反射光被鏡片③收集,投射到CMOS陣列④上;信號(hào)處理器⑤通過三角函數(shù)計(jì)算陣列④上的光點(diǎn)位置得到距物體的距離。一 、激光位移傳感器原理之激光三角測(cè)量法原理1.激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測(cè)物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收,根據(jù)...
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白光干涉測(cè)厚傳感器在晶圓水膜厚度測(cè)量中的應(yīng)用及操作步驟詳解
2024
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01
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21
白光干涉測(cè)厚儀是一種非接觸式測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于測(cè)量晶圓上液體薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通過利用反射光的光程差來測(cè)量被測(cè)物的厚度。白光干涉測(cè)厚儀工作原理是將寬譜光(白光)投射到待測(cè)薄膜表面上,并分析返回光的光譜。被測(cè)物的上下表面各形成一個(gè)反射,兩個(gè)反射面之間的光程差會(huì)導(dǎo)致不同波長(顏色)的光互相增強(qiáng)或者抵消。通過詳細(xì)分析返回光的光譜,可以得到被測(cè)物的厚度信息。白光干涉測(cè)厚儀在晶圓水膜厚度測(cè)量中具有以下優(yōu)勢(shì):1. 測(cè)量范圍廣:能夠測(cè)量幾微米到1mm左右范圍的厚度。2. 小光斑和高速測(cè)量:采用SLD(Superluminescent Diode)作為光源,具有小光斑和高速測(cè)量的特點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)快速準(zhǔn)確的測(cè)量。下面是使用白光干涉測(cè)厚儀測(cè)量晶圓上水膜厚度的詳細(xì)步驟:1. 準(zhǔn)備工作:確保待測(cè)晶圓樣品表面清潔平整,無雜質(zhì)和氣泡。2. 參數(shù)設(shè)置:調(diào)整白光干測(cè)厚涉儀到合適的工作模式,并確定合適的測(cè)量參數(shù)和光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置。根據(jù)具體要求選擇光譜范圍、采集速度等參數(shù)。3. 樣品放置:將待測(cè)晶圓放置在白光干涉測(cè)厚儀的測(cè)量臺(tái)上,并固定好位置,使其與光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定的接觸。確保樣品與測(cè)量臺(tái)平行,并避免外界干擾因素。4. 啟動(dòng)測(cè)量:?jiǎn)?dòng)白光干涉測(cè)厚儀,開始測(cè)量水膜厚度。通過記錄和分析返回光的光譜,可以得到晶圓上水膜的厚度信息。可以通過軟件實(shí)時(shí)顯示和記錄數(shù)據(jù)。5. 連續(xù)監(jiān)測(cè):對(duì)于需要連續(xù)監(jiān)測(cè)晶圓上水膜厚度變...
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超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)過程中測(cè)量卷繞直徑的應(yīng)用
2023
-
03
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07
本次應(yīng)用報(bào)告旨在介紹超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)過程中測(cè)量卷繞直徑的應(yīng)用情況。首先,本文將介紹超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn),然后詳細(xì)介紹其在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用情況,并對(duì)其應(yīng)用效果進(jìn)行評(píng)估和總結(jié)。一、超聲波測(cè)距傳感器的基本工作原理和特點(diǎn)超聲波測(cè)距傳感器是一種通過超聲波測(cè)量距離的傳感器,其測(cè)量原理非常簡(jiǎn)單,就是利用超聲波在空氣中的傳播速度快,而且與環(huán)境中的溫度、濕度等因素?zé)o關(guān)的特點(diǎn)。具體來說,超聲波測(cè)距傳感器通過發(fā)射超聲波信號(hào),當(dāng)這些信號(hào)遇到物體時(shí)就會(huì)反射回來,傳感器通過感受這些反射信號(hào)的到達(dá)時(shí)間,從而計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。超聲波測(cè)距傳感器具有響應(yīng)速度快、距離測(cè)量范圍廣、測(cè)量精度高和使用方便等特點(diǎn)。因此,在工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人、汽車和航空等領(lǐng)域已經(jīng)廣泛應(yīng)用。二、超聲波測(cè)距傳感器在鋰電池生產(chǎn)中的應(yīng)用鋰電池的核心部件是電芯,而電芯的生產(chǎn)過程中就需要進(jìn)行鋰電池卷繞。卷繞的直徑大小對(duì)于電芯的性能有很大的影響。因此,測(cè)量卷繞直徑是電芯生產(chǎn)過程中非常重要的環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用拉尺、卡尺等工具進(jìn)行物理測(cè)量,但是由于電芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、精度要求高、測(cè)量效率低等因素,往往會(huì)出現(xiàn)誤差較大的情況。超聲波測(cè)距傳感器可以很好地解決這個(gè)問題。具體來說,在電芯卷繞時(shí),只需要將超聲波測(cè)距傳感器置于卷繞機(jī)上方,然后通過發(fā)射超聲波信號(hào)測(cè)量卷繞軸的直徑大小即可。由于超聲波的反射信號(hào)可以穿透物體,因此不會(huì)對(duì)...
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激光測(cè)振技術(shù):旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測(cè)的核心手段
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在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過程中,振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測(cè)振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢(shì),成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測(cè)利器。它采用非接觸式測(cè)量,有效避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾,確保測(cè)量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性,能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化,為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械,在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)數(shù)據(jù),可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題,預(yù)防設(shè)備故障,保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性,大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理:激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測(cè)振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí),由于物體表面的振動(dòng),反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為,物體表面振動(dòng)速度為,激光波長為,則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過精確測(cè)量多普勒頻移,就能得到物體表面的振動(dòng)速度,進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測(cè)量原理相比,激光多普勒測(cè)振具有顯著優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法,如壓電式傳感器,需要與被測(cè)物體直接接觸,這不僅會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾,還可能因安裝問題影響測(cè)量精度,而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測(cè)量時(shí),接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測(cè)振傳感器采用非接觸式測(cè)量,避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾,可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測(cè)量,適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測(cè)量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置:精準(zhǔn)測(cè)量的基石(一)微型激光多普勒測(cè)...
光譜共焦位移傳感器的那些事兒
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**光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢(shì)的新型幾何量精密測(cè)量傳感器。以下將對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長的光在被測(cè)物體表面反射后,通過色散物鏡聚焦在不同位置,從而建立位移和波長之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過色散物鏡后,不同波長的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測(cè)物體處于某一特定波長的焦點(diǎn)位置時(shí),該波長的光被反射回傳感器,通過成像光譜儀檢測(cè)到該波長的光,從而確定被測(cè)物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**:通常為寬光譜光源,能夠提供一定波長范圍的光。例如,在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長范圍,以滿足不同測(cè)量需求。2. **色散物鏡**:是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL的光聚焦在不同的軸向位置,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物體位置的精確測(cè)量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí),需要考慮多個(gè)因素,如測(cè)量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如,有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測(cè)量范圍為 2mm,圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3,軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm,分辨率較高,并且波長與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9,線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**:用于檢測(cè)反射回來的光,并確定其波長。在一些研究中,采用棱鏡 - 光柵分光的方式對(duì)成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析,消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...
光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解
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摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器,廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù),包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng),為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無損檢測(cè)等特性,成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù),包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息,再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解,反解得出被測(cè)位移。其中,色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射,是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源,其光譜分布范圍廣泛,能夠滿足不同測(cè)量需求。同時(shí),白光LED具有壽命長、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件,其性能直接影響傳感器的測(cè)量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí),需要考慮其軸向色散與波長之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號(hào),并確定其波長,從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...
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