...


相位法激光測距傳感器是一種用于測量距離的傳感器，它使用衰減激光來測量距離。激光在一個激光發射器中發出，并由一個接收器接收。激光發射持續一段時間，稱為測量時間，根據接收信號的強度和相位推導出一般的相對距離和數據。       激光距離傳感器的原理有點像各種閃爍的表盤表，只是發射的激光光源更小而且激光傳播時間更短，所以更快。傳感器通過測量當激光發出后多久接收到信號來測量物體之間的相對位置，也就是距離。由于拋物線和容積衰減，激光越遠越弱，為了準確測量距離，必須使用準確的激光，并且隨著距離的增加接收性能衰減越多，因此必須調整傳感器的接收閾值，以確?？梢哉_測量所需的距離。       當激光被發射出去時，傳感器會記錄發射的時間，當激光被接收時，傳感器記錄激光接收的時間。然后，將發射時間和接收時間相減，就可以得到大約的信號傳播時間，就可以用它來測量形成到目標物體的距離。       然而，如果電路中的任何一部分停頓，傳感器就不能正確測量距離，可能會產生一些不準確的測量。因此，為了防止這種情況的發生，許多傳感器使用了自適應濾波器，可以有效地濾除由塵埃、碰撞或干擾引起的雜散信號，從而確保測量準確。       相位法激光測距傳感器具有較低...

...


標題：泓川科技：破冰之旅——LTP系列激光位移傳感器，全國產化的輝煌篇章在科技日新月異的今天，每一個微小的進步都可能成為推動行業變革的巨大力量。然而，在高端激光位移傳感器領域，長期以來，我國一直面臨著國外技術的嚴密封鎖與市場壟斷。西克SICK、米銥、基恩士、奧泰斯等國際品牌如同難以逾越的高山，讓國內企業在這一關鍵領域步履維艱。但在這片看似無望的疆域中，泓川科技有限公司卻以一腔熱血和不懈追求，書寫了一段打破壟斷、實現全國產化替代的傳奇故事。破冰之始：挑戰與決心面對國際巨頭的強勢地位，泓川科技沒有選擇退縮，而是迎難而上。他們深知，要在這片被外資品牌牢牢掌控的市場中開辟新天地，就必須拿出過硬的產品和技術。于是，LTP系列高精度激光位移傳感器的研發項目應運而生，這不僅是泓川科技對技術創新的執著追求，更是對國家科技自立自強戰略的積極響應。技術攻堅：細節決定成敗在LTP系列的研發過程中，泓川科技團隊對每一個部件、每一個環節都進行了極致的打磨和優化。從激光器的選擇到激光檢測器的設計，從測量電路的構建到光學元件的精密調校，每一步都凝聚著科研人員的智慧和汗水。激光器：為了確保激光束的高方向性和集中度，泓川科技與國內頂尖的光電子企業合作，共同研發出適用于LTP系列的定制化激光器，其性能指標直追國際先進水平。激光檢測器與測量電路：通過引進先進的信號處理技術和算法，泓川科技大幅提升了檢測器的靈敏度和測量電...

...


大家好，今天給大家詳細說明下目前我們市面上用的激光位移傳感器內部構造及詳細原理、應用、市場種類、及未來發展，我在網上搜索了很多資料，發現各大平臺或者廠商提供的信息大多千篇一律或者式只言片語，要么是之說出大概原理，要買只講出產品應用，對于真正想了解激光位移傳感器三角回差原理的朋友們來說總是沒有用辦法說透，我今天花點時間整理了各大平臺的大牛們的解釋，再結合自己對產品這么多年來的認識，整理出以下這篇文章，希望能給想要了解這種原理的小伙伴一點幫助！好了廢話不多說我們直接上干貨首先我們要說明市面上的激光測量位移或者距離的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF時間飛行原理，光譜共焦原理和相位干涉原理，我們今天給大家詳細介紹的是激光三角測量法和激光回波分析法，激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量，而激光回波分析法則用于遠距離測量，下面分別介紹激光三角測量原理和激光回波分析原理。讓我們給大家分享一個激光位移傳感器原理圖，一般激光位移傳感器采用的基本原理是光學三角法：半導體激光器：半導體激光器①被鏡片②聚焦到被測物體⑥。反射光被鏡片③收集，投射到CMOS陣列④上；信號處理器⑤通過三角函數計算陣列④上的光點位置得到距物體的距離。一 、激光位移傳感器原理之激光三角測量法原理1．激光發射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面，經物體反射的激光通過接收器鏡頭，被內部的CCD線性相機接收，根據...

...


白光干涉測厚儀是一種非接觸式測量設備，廣泛應用于測量晶圓上液體薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通過利用反射光的光程差來測量被測物的厚度。白光干涉測厚儀工作原理是將寬譜光（白光）投射到待測薄膜表面上，并分析返回光的光譜。被測物的上下表面各形成一個反射，兩個反射面之間的光程差會導致不同波長（顏色）的光互相增強或者抵消。通過詳細分析返回光的光譜，可以得到被測物的厚度信息。白光干涉測厚儀在晶圓水膜厚度測量中具有以下優勢：1. 測量范圍廣：能夠測量幾微米到1mm左右范圍的厚度。2. 小光斑和高速測量：采用SLD（Superluminescent Diode）作為光源，具有小光斑和高速測量的特點，能夠實現快速準確的測量。下面是使用白光干涉測厚儀測量晶圓上水膜厚度的詳細步驟：1. 準備工作：確保待測晶圓樣品表面清潔平整，無雜質和氣泡。2. 參數設置：調整白光干測厚涉儀到合適的工作模式，并確定合適的測量參數和光學系統設置。根據具體要求選擇光譜范圍、采集速度等參數。3. 樣品放置：將待測晶圓放置在白光干涉測厚儀的測量臺上，并固定好位置，使其與光學系統保持穩定的接觸。確保樣品與測量臺平行，并避免外界干擾因素。4. 啟動測量：啟動白光干涉測厚儀，開始測量水膜厚度。通過記錄和分析返回光的光譜，可以得到晶圓上水膜的厚度信息?？梢酝ㄟ^軟件實時顯示和記錄數據。5. 連續監測：對于需要連續監測晶圓上水膜厚度變...

...


一、核心性能參數對比：精度與場景適配性參數泓川科技LTC2600（標準版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（標準版）參考距離15 mm15 mm15 mm測量范圍±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直徑9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（單點式）重復精度50 nm50 nm100 nm線性誤差±0.49 μm（標準模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理論值）防護等級IP40IP67（定制）IP67耐溫范圍0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，標準版）重量228 g250 g（高溫版）180 g性能深度解析精度碾壓：LTC2600的重復精度（50 nm）顯著優于CL-P015（100 nm），線性誤差（光斑靈活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顧微小目標檢測與粗糙面穩定性；CL-P015僅提供單點式光斑（ø25 μm），適用場景受限。環境適應性：CL-P015標準版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通過...

...


五、光學傳感器測量技術5.1 高精度測量技術5.1.1 關鍵技術突破在存儲硬盤 HDD 的檢測領域，高精度測量技術的突破猶如一顆璀璨的明星，照亮了整個行業的發展道路。以基恩士 SI 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計為代表，其在高精度測量技術方面實現了令人矚目的突破。該系列產品成功打造出世界超一流的微型傳感頭，這一創新成果堪稱技術領域的杰作。SI 系列的微型傳感頭采用了獨特的光纖結構，這一結構設計猶如為傳感器賦予了強大的 “魔力”。完全無電子部件的設計，使得傳感器徹底擺脫了測量儀本身發熱所產生的偏移或電磁干擾的困擾。在傳統的測量設備中，測量儀發熱往往會導致測量結果出現偏差，而電磁干擾更是如同隱藏在暗處的 “幽靈”，難以被徹底隔離和消除，嚴重影響測量的精度。但 SI 系列通過這一創新設計，成功避開了這些難題，為實現超高精度測量奠定了堅實的基礎。其尺寸小、重量輕、耐高溫的特點，更是為其在復雜的測量環境中施展 “身手” 提供了極大的便利。小巧的尺寸和輕盈的重量，使得它在選擇安裝區域時幾乎不受限制，能夠靈活地安裝在傳統設備無法觸及的狹小空間內。在一些對空間要求極為苛刻的 HDD 生產環節中，SI 系列能夠輕松找到合適的安裝位置，實現對關鍵部件的精準測量。而耐高溫的特性，則保證了傳感器在高溫環境下依然能夠穩定工作，確保測量結果的準確性和可靠性。 5.1.2 對 HDD 檢測的意義...

...


激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動光學傳感技術。它的工作原理是發射激光束，激光束被目標表面或區域反射，然后光束返回所需的時間被轉換為距離測量。它的主要應用是尺寸計量，可以精確測量長度、距離和粗糙度輪廓。激光位移傳感器也用于工業自動化、機器人和機器視覺應用。什么是激光位移傳感器？       激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動光學傳感技術。該系統通過從激光源發射激光來工作。然后，該激光束從目標表面或區域反射回來。然后，光束覆蓋距離和返回所花費的時間被轉換為距離測量或輪廓。激光位移傳感器通常由三個主要部分組成：*激光源*光學探測器*處理器      激光源通常是激光二極管，其波長適合于目標區域及其光學特性。激光二極管產生激光束，該激光束被引導到目標表面或區域上。然后光束被反射回檢測器。根據應用，可以用一定范圍的脈沖頻率調制光束。光束由光學檢測器檢測。檢測器將光轉換成電信號，然后將其發送到處理器。然后處理器處理信息并將測量數據發送到數字顯示器或計算機。然后，數據可用于進一步分析或控制自動化過程。歷史：       激光位移傳感器最初是在20世紀70年代開發的，是麻省理工學院研究項目的一部分。這項研究由美國陸軍研究實驗室和美國空軍賴特實驗室贊助。該技術最...

...


一、光譜共焦傳感技術解密光譜共焦技術的起源，要追溯到科學家們對傳統成像精度局限的深刻洞察。在 20 世紀 70 年代，傳統成像在精密測量領域遭遇瓶頸，為突破這一困境，基于干涉原理的光譜共焦方法應運而生，開啟了高精度測量的新篇章。進入 80 年代，科研人員不斷改進儀器設計，引入特殊的分光元件，如同給傳感器裝上了 “精密濾網”，精準分辨不同波長光信號；搭配高靈敏度探測器，將光信號轉化為精確數字信息。同時，計算機技術強勢助力，實現數據快速處理、動態輸出測量結果，讓光譜共焦技術穩步走向成熟。90 年代，納米技術、微電子學蓬勃發展，對測量精度要求愈發苛刻?？蒲袌F隊迎難而上，開發新算法、模型優化測量，減少誤差；增設溫度控制、機械振動抑制功能，宛如為傳感器打造 “穩定護盾”，確保在復雜實驗環境下結果穩定可靠，至此，光譜共焦技術成為精密測量領域的關鍵力量。添加圖片注釋，不超過 140 字（可選）二、HCY 光譜共焦傳感器工作原理（一）核心原理闡釋HCY 光譜共焦傳感器的核心在于巧妙運用光學色散現象。當內部的白光點光源發出光線后，光線會迅速射向精密的透鏡組。在這里，白光如同被解開了神秘面紗，依據不同波長被精準地色散開來，形成一道絢麗的 “彩虹光帶”。這些不同波長的光，各自沿著獨特的路徑前行，最終聚焦在不同的高度之上，構建起一個精密的測量范圍 “標尺”。當光線抵達物體表面，會發生反射，其中特定波長的光...