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基于高精度光譜共焦傳感器的基膜厚度測(cè)量方案

2023 - 08 - 21

摘要：基膜厚度是許多工業(yè)領(lǐng)域中重要的參數(shù)，特別是在薄膜涂覆和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。本報(bào)告提出了一種基于高精度光譜感測(cè)的基膜厚度測(cè)量方案，該方案采用非接觸測(cè)量技術(shù)，具有高重復(fù)性精度要求和不損傷產(chǎn)品表面的優(yōu)勢(shì)。通過詳細(xì)的方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選擇和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，展示了如何實(shí)現(xiàn)基膜厚度的準(zhǔn)確測(cè)量，并最終提高生產(chǎn)效率。引言基膜厚度的精確測(cè)量對(duì)于許多行業(yè)來說至關(guān)重要。傳統(tǒng)測(cè)量方法中的接觸式測(cè)量存在損傷產(chǎn)品表面和對(duì)射測(cè)量不準(zhǔn)確的問題。相比之下，高精度光譜感測(cè)技術(shù)具有非接觸、高重復(fù)性和高精度的優(yōu)勢(shì)，因此成為了基膜厚度測(cè)量的理想方案。方案設(shè)計(jì)基于高精度光譜感測(cè)的基膜厚度測(cè)量方案設(shè)計(jì)如下：2.1 設(shè)備選擇選擇一臺(tái)高精度光譜感測(cè)儀器，具備以下特點(diǎn)：微米級(jí)或亞微米級(jí)分辨率：滿足對(duì)基膜厚度的高精度要求。寬波長(zhǎng)范圍：覆蓋整個(gè)感興趣的波長(zhǎng)范圍。快速采集速度：能夠快速獲取數(shù)據(jù)，提高生產(chǎn)效率。穩(wěn)定性和重復(fù)性好：確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。2.2 光譜感測(cè)技術(shù)采用反射式光譜感測(cè)技術(shù)，原理如下：在感測(cè)儀器中，發(fā)射一個(gè)寬光譜的光源，照射到待測(cè)樣品表面。根據(jù)不同厚度的基膜對(duì)光的反射率不同，形成一個(gè)光譜反射率圖像。通過對(duì)反射率圖像的分析和處理，可以確定基膜的厚度。2.3 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證基膜厚度測(cè)量方案的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。選擇一系列已知厚度的基膜作為標(biāo)準(zhǔn)樣品。使用高精度光譜感測(cè)儀器對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行測(cè)量，并記錄測(cè)量結(jié)果。重復(fù)多次測(cè)量，并計(jì)...
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圓筒內(nèi)壁檢測(cè)技術(shù)的新突破：激光三角測(cè)距法與機(jī)器視覺的完美結(jié)合

2023 - 12 - 23

摘要：圓筒內(nèi)壁的檢測(cè)在工業(yè)生產(chǎn)中具有重要意義，傳統(tǒng)方法存在諸多問題。本文介紹了一種新型的檢測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測(cè)距法和機(jī)器視覺技術(shù)，旨在解決傳統(tǒng)方法的不足。新方法可以在高溫環(huán)境下工作，對(duì)小徑圓筒進(jìn)行測(cè)量，且測(cè)量精度高、速度快。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測(cè)，為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)提供了有力支持。關(guān)鍵詞：圓筒內(nèi)壁檢測(cè)；機(jī)器視覺；激光三角測(cè)距法；在線檢測(cè)引言圓筒內(nèi)壁檢測(cè)是工業(yè)生產(chǎn)中的重要環(huán)節(jié)，其質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和使用壽命。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法存在諸多問題，如檢測(cè)精度不高、速度慢、無法在線檢測(cè)等。為了解決這些問題，本文提出了一種新型的檢測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)結(jié)合了改進(jìn)的激光三角測(cè)距法和機(jī)器視覺技術(shù)，旨在實(shí)現(xiàn)圓筒內(nèi)壁的高質(zhì)量、高速度的在線檢測(cè)。工作原理本系統(tǒng)采用激光三角測(cè)距法作為主要測(cè)量手段。激光三角測(cè)距法是一種非接觸式測(cè)量方法，通過激光投射到被測(cè)物體表面并反射回來，再通過傳感器接收，經(jīng)過處理后可以得到被測(cè)物體的距離和尺寸信息。本系統(tǒng)對(duì)傳統(tǒng)的激光三角測(cè)距法進(jìn)行了改進(jìn)，使其能夠在高溫環(huán)境下工作，并對(duì)小徑圓筒進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)，本系統(tǒng)還采用了機(jī)器視覺技術(shù)進(jìn)行輔助測(cè)量和判斷。機(jī)器視覺技術(shù)是通過計(jì)算機(jī)模擬人類的視覺功能，實(shí)現(xiàn)對(duì)圖像的采集、處理和分析。本系統(tǒng)利用機(jī)器視覺技術(shù)對(duì)圓筒內(nèi)壁表面進(jìn)行圖像采集和處理，通過算法識(shí)別和判斷內(nèi)壁表面的缺陷和尺寸信息。通過將激光三角測(cè)距法和...
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激光位移傳感器內(nèi)部組成單元的作用是什么？

2020 - 09 - 16

激光位移傳感器的性能與應(yīng)用功能已得到不斷完善與提升，它在食品、鋼鐵以及冶金等加工領(lǐng)域都實(shí)現(xiàn)了廣泛應(yīng)用。這是因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅骶确浅８撸瑹o論選用哪一種測(cè)量方法都不會(huì)造成較大偏差，現(xiàn)在就激光位移傳感器各內(nèi)部組成單元的作用是什么作簡(jiǎn)要闡述：1.處理器單元處理脈沖信號(hào)激光位移傳感器內(nèi)置數(shù)字處理器單元，通過數(shù)字處理器單元的控制與分析便于迅速計(jì)算出傳感器和被測(cè)物之間的距離。光束在接收元件的位置后便會(huì)通過模擬以及數(shù)字電路處理并且通過微處理器分析獲得相應(yīng)的輸出值，同時(shí)在模擬窗口按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)數(shù)據(jù)。2.激光發(fā)射器發(fā)射檢測(cè)脈沖激光位移傳感器是利用激光發(fā)射器發(fā)射數(shù)百萬個(gè)脈沖到待檢測(cè)物中并返回至接收器。因?yàn)榧す獍l(fā)射器是測(cè)距、測(cè)位移必不可缺的重要組成單元，現(xiàn)今絕大多數(shù)的激光發(fā)射器都具有相干性好、平行度好以及亮度高等多重特性，故而它可確保所發(fā)射的脈沖具有恒定的強(qiáng)度以及穩(wěn)定的行進(jìn)路線。3.回波處理單元處理回波脈沖信號(hào)回波處理單元是激光位移傳感器較為重要的組成部分之一。它的主要作用是將被測(cè)物返回的脈沖進(jìn)行必要的處理，故而它可輔助位移傳感器完成對(duì)振動(dòng)、直徑以及距離等精密幾何數(shù)據(jù)的分析與處理，許多的檢測(cè)者更是將它大量應(yīng)用于長(zhǎng)距離檢測(cè)領(lǐng)域。激光位移傳感器是高科技作用下新型的非接觸性測(cè)量裝置，許多人也是基于此而密切關(guān)注激光位移傳感器西安。而據(jù)相關(guān)反饋表明激光位移傳感器的處理器單元會(huì)實(shí)時(shí)處理各類脈沖信號(hào)，它的激光發(fā)射...
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激光測(cè)距傳感器的現(xiàn)場(chǎng)使用建議包括哪些內(nèi)容

2020 - 09 - 17

激光測(cè)距傳感器既特別適宜應(yīng)用于各類形狀物體的位置、尺寸以及長(zhǎng)寬高的測(cè)量，同時(shí)又特別適宜測(cè)試部分在軌道上運(yùn)動(dòng)的物體位置、速度以及長(zhǎng)度等相關(guān)參數(shù)。許多人非常疑惑激光測(cè)距傳感器發(fā)出的什么光線，事實(shí)上它們所發(fā)出的是光脈沖，現(xiàn)在就激光測(cè)距傳感器的現(xiàn)場(chǎng)使用建議包括哪些內(nèi)容作簡(jiǎn)要闡述：1.確定模擬輸出量的穩(wěn)定性激光測(cè)距傳感器是通過光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)和光學(xué)接受系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，故而在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試需要確定模擬輸出量的穩(wěn)定性。若是模擬量輸出不穩(wěn)定，那么有可能導(dǎo)致信號(hào)強(qiáng)度低于固定標(biāo)準(zhǔn)值，這時(shí)需要現(xiàn)場(chǎng)檢查待測(cè)目標(biāo)的反射率情況，從而使其擁有足夠強(qiáng)的信號(hào)強(qiáng)度。2.經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置和亮度在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用激光測(cè)距傳感器測(cè)量工業(yè)起重機(jī)的定位以及進(jìn)行軌道式車輛定位測(cè)量時(shí)，要注意經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置和亮度。如果激光點(diǎn)偏離軌道式車輛或者工業(yè)起重機(jī)指定的測(cè)量區(qū)域，那么就需要及時(shí)進(jìn)行調(diào)整，避免偏差過大影響測(cè)量結(jié)果。3.露天測(cè)量需增加遮陽防雨罩據(jù)了解現(xiàn)今絕大多數(shù)的激光測(cè)距傳感器都是用于露天測(cè)量。為了避免激光測(cè)距傳感器在露天測(cè)量時(shí)受到風(fēng)雨點(diǎn)或者過高溫度環(huán)境的影響，建議增加遮陽防雨裝置后再行測(cè)量，同時(shí)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量時(shí)還應(yīng)盡量保證具有良好的通風(fēng)散熱性能。激光測(cè)距傳感器的應(yīng)用范圍已隨其性能的提升而不斷擴(kuò)展，因此現(xiàn)今無論是大型測(cè)距器還是小型激光測(cè)距傳感器都得到廣泛應(yīng)用。激光測(cè)距傳感器在現(xiàn)場(chǎng)使用時(shí)除了需要注意確定模擬輸出量的穩(wěn)定性，同時(shí)還需要經(jīng)常檢查激光點(diǎn)的位置...
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選擇激光測(cè)距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)可實(shí)現(xiàn)哪些作用

2020 - 09 - 18

據(jù)相關(guān)科技資訊反饋表明激光測(cè)距傳感器應(yīng)用的身影遍及汽車、海事以及生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域，它借助激光光束與待測(cè)點(diǎn)之間的傳播時(shí)間來確認(rèn)其距離的遠(yuǎn)近。事實(shí)上激光測(cè)距傳感器應(yīng)用性能已得到眾多用戶的廣泛肯定與認(rèn)可，現(xiàn)在就選擇激光測(cè)距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)可實(shí)現(xiàn)哪些作用作簡(jiǎn)要闡述：1.便于及時(shí)掌握地震源的距離遠(yuǎn)近激光測(cè)距傳感器可基于不同的波長(zhǎng)對(duì)地震源進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量，從而便于監(jiān)測(cè)者能及時(shí)掌握地震源的距離遠(yuǎn)近。這種激光測(cè)距傳感器具有探測(cè)距離遠(yuǎn)以及遠(yuǎn)距離測(cè)距精度高等特性，故而將其對(duì)準(zhǔn)地震源或地震帶便于準(zhǔn)確獲知地震源的距離遠(yuǎn)近，同時(shí)它的這些特性還便于進(jìn)行大地控制測(cè)量。2.便于實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)地震狀況激光測(cè)距傳感器之所以能在地震預(yù)報(bào)中實(shí)現(xiàn)高頻應(yīng)用，還在于它可實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)地震狀況。因?yàn)榧す鉁y(cè)距擁有更快的反應(yīng)速度，它只要從被測(cè)物體中獲得一個(gè)回波就可進(jìn)行距離測(cè)量，而周邊環(huán)境所產(chǎn)生的回波將被忽略，因此監(jiān)測(cè)人員就可根據(jù)實(shí)時(shí)的回波信息了解地震源的移動(dòng)狀況。3.便于提前預(yù)防以及轉(zhuǎn)移人群據(jù)相關(guān)調(diào)查反饋表明選擇激光測(cè)距傳感器應(yīng)用于地震預(yù)報(bào)有助于大幅度降低地震損失。因?yàn)橥ㄟ^地震源的預(yù)報(bào)與探測(cè)便于監(jiān)控根據(jù)地震的移動(dòng)速度以及移動(dòng)距離調(diào)整計(jì)劃，并且根據(jù)地震的強(qiáng)度提前進(jìn)行預(yù)防與轉(zhuǎn)移人群。據(jù)了解部分激光測(cè)距傳感器還被廣泛應(yīng)用于測(cè)量導(dǎo)彈以及人造衛(wèi)星等空間目標(biāo)的距離大小，但是這需要訂購(gòu)特定的激光測(cè)距傳感器型號(hào)方可使用。據(jù)了解現(xiàn)今越來越多的地震預(yù)報(bào)選擇應(yīng)...
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機(jī)器人控制為什么更適宜選用激光位移傳感器

2020 - 09 - 21

激光位移傳感器的作用原理主要是利用激光的高方向性、高單色性以及高亮度等特點(diǎn)來實(shí)現(xiàn)無接觸測(cè)量，它有助于大幅度提升位移測(cè)量的精度和可靠性。故而現(xiàn)今越來越多的應(yīng)用場(chǎng)所都在積極尋求可靠性更高的國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器，現(xiàn)在就機(jī)器人控制為什么更適宜選用激光位移傳感器作簡(jiǎn)要闡述：1.確保機(jī)器人擁有更強(qiáng)的抗振沖擊能力據(jù)相關(guān)介紹表明現(xiàn)今越來越多的機(jī)器人在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)之初都會(huì)優(yōu)先考慮使用激光位移傳感器。因?yàn)檫@種位移傳感器具有更強(qiáng)的抗振沖擊能力，眾所周知機(jī)器人在行駛過程中可能會(huì)因?yàn)榕龅秸系K物而導(dǎo)到受到重大沖擊，為了能確保它在大沖擊下仍擁有穩(wěn)定的性能，那么選用抗振沖擊能力較強(qiáng)的激光位移傳感器是較為明智的選擇。2.促使機(jī)器人控制擁有更加穩(wěn)定的輸出信號(hào)機(jī)器人控制優(yōu)先選用激光位移傳感器的原因還在于，它可促使機(jī)器人在控制作業(yè)中擁有更加穩(wěn)定的輸出信號(hào)。因?yàn)槲灰苽鞲衅魇腔谌菧y(cè)量原理而設(shè)計(jì)并且大量應(yīng)用了數(shù)字化背景抑制技術(shù)，因此有助于大幅度提升抗干擾能力，確保輸出信號(hào)穩(wěn)定且無干擾。3. 確保機(jī)器人擁有EMI屏蔽特性機(jī)器人控制載入激光位移傳感器的原因在于它有助于實(shí)現(xiàn)EMI屏蔽功能。因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅魇抢眉t光激光以及小清晰的光斑實(shí)現(xiàn)位移移動(dòng)控制，在機(jī)器人控制中基本不會(huì)出現(xiàn)EMI干擾現(xiàn)象，將它應(yīng)用于機(jī)器人控制也助于提升其EMI屏蔽特性。激光位移傳感器的普及與應(yīng)用逐步取代了舊時(shí)的位移測(cè)量方式，事實(shí)上這是激光位移傳感器發(fā)展的新思路。...
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激光位移傳感器的功能有哪些

2020 - 09 - 22

激光位移傳感器作為一種在工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中很常用的精密測(cè)量?jī)x器有著重要的作用，因?yàn)榧す馕灰苽鞲衅鞴δ軓?qiáng)大所以得到了愈來愈廣泛的應(yīng)用，那么激光位移傳感器到底都有哪些功能呢？接下來就這個(gè)問題做個(gè)詳細(xì)的介紹。功能一、尺寸的測(cè)定在激光位移傳感器眾多的實(shí)用功能當(dāng)中尺寸的測(cè)定無疑是更基本且更為具有代表性的功能之一，比如說能夠?qū)ξ⑿〉牧悴考M(jìn)行精準(zhǔn)的位置識(shí)別；能夠?qū)ιa(chǎn)過程當(dāng)中傳送帶的上面有無零件進(jìn)行準(zhǔn)備的監(jiān)測(cè)與識(shí)別；對(duì)于機(jī)械化操作重要組建的工具中心位置進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)的等等從而確保生產(chǎn)過程的順利無障礙的進(jìn)行。功能二、電子元件的檢查在電子領(lǐng)域的生產(chǎn)當(dāng)中對(duì)于電子元件的生產(chǎn)及使用過程是有著極高要求的，而激光位移傳感器就能夠更好的執(zhí)行對(duì)電子元件的檢查任務(wù)，一般會(huì)采用兩個(gè)激光位移傳感器來對(duì)置于中間的電子元件進(jìn)行檢查然后通過讀出的數(shù)據(jù)來確定該元件尺寸是夠精準(zhǔn)及完整。功能三、均勻度的檢查在某些工業(yè)領(lǐng)域當(dāng)中對(duì)于產(chǎn)品或者零部件的均勻度有著極高要求，為了保證這些產(chǎn)品或者零部件具有合格的均勻度就需要激光位移傳感器來完成了，可以沿測(cè)量目標(biāo)的傾斜方向擺置幾個(gè)激光位移傳感器來進(jìn)行檢查然后根據(jù)其讀數(shù)的數(shù)據(jù)來判斷結(jié)果。概括來說，目前應(yīng)用愈加廣泛的激光位移傳感器受到了更多用戶們的高度關(guān)注，雖然進(jìn)口的激光位移傳感器多年來始終占據(jù)著市場(chǎng)當(dāng)中的主導(dǎo)，但是隨著激光位移傳感器國(guó)產(chǎn)化腳步的不斷加快，也將會(huì)給用戶們帶來價(jià)格更加實(shí)惠功能更加強(qiáng)大的產(chǎn)品。
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選購(gòu)激光位移傳感器時(shí)應(yīng)著重關(guān)注哪些方面

2020 - 09 - 23

現(xiàn)如今激光位移傳感器在很多領(lǐng)域當(dāng)中都有了廣泛的應(yīng)用，這與激光位移傳感器功能的強(qiáng)大是密不可分的，再加上其維護(hù)簡(jiǎn)單、更加耐用等特點(diǎn)加持更是成為了某些領(lǐng)域當(dāng)中必不可少的重要倚賴。不過用戶們要想讓激光位移傳感器能夠更好的滿足自身實(shí)際測(cè)量需求，那么在選購(gòu)時(shí)應(yīng)著重關(guān)注這幾點(diǎn)才行。一、確認(rèn)測(cè)量時(shí)是否需要直接接觸激光位移傳感器的測(cè)量過程需要一個(gè)完整的三角光路，而在測(cè)量過程當(dāng)中能否形成完整的三角光路則決定著能否帶來精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)結(jié)果。如果測(cè)量時(shí)需要直接接觸到測(cè)量目標(biāo)就會(huì)不可避免的產(chǎn)生印記或者劃痕，這樣就會(huì)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)度帶來影響，因此這個(gè)問題要事先明確。二、確認(rèn)各項(xiàng)主要指標(biāo)的誤差值用戶選擇激光位移傳感器正是看中了其高精度測(cè)量的顯著特點(diǎn)，而這個(gè)顯著特點(diǎn)也正是某些對(duì)零部件生產(chǎn)有著高精度要求的領(lǐng)域所必不可少的，比如說汽車零部件及航空飛行器零部件等都對(duì)于精度要求很高。在這個(gè)前提之下在選擇激光位移傳感器的時(shí)候就需要確認(rèn)好各項(xiàng)主要指標(biāo)的誤差值，因?yàn)樵谑褂玫倪^程當(dāng)中測(cè)量頻率、量程以及分辨率和精度等指標(biāo)都會(huì)產(chǎn)生相互的影響進(jìn)而影響到測(cè)量數(shù)據(jù)結(jié)果的精準(zhǔn)度，所以尤其是對(duì)測(cè)量精度要求更高的用戶更是要提前做好了解才行，盡管前些年激光位移傳感器都是進(jìn)口產(chǎn)品主導(dǎo)著整個(gè)市場(chǎng)，但是隨著激光位移傳感器國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的不斷加快，尤其在以上這幾個(gè)方面都進(jìn)行了不斷的優(yōu)化與創(chuàng)新，如今已經(jīng)能夠?yàn)閺V大用戶帶來了日臻完善的使用功能與進(jìn)口產(chǎn)品之間的差距已經(jīng)...

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激光測(cè)振動(dòng)傳感器

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激光測(cè)振技術(shù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測(cè)的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過程中，振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測(cè)振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測(cè)利器。它采用非接觸式測(cè)量，有效避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，確保測(cè)量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性，能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化，為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械，在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)數(shù)據(jù)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題，預(yù)防設(shè)備故障，保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性，大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理：激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測(cè)振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí)，由于物體表面的振動(dòng)，反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為，物體表面振動(dòng)速度為，激光波長(zhǎng)為，則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過精確測(cè)量多普勒頻移，就能得到物體表面的振動(dòng)速度，進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測(cè)量原理相比，激光多普勒測(cè)振具有顯著優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法，如壓電式傳感器，需要與被測(cè)物體直接接觸，這不僅會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾，還可能因安裝問題影響測(cè)量精度，而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測(cè)量時(shí)，接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測(cè)振傳感器采用非接觸式測(cè)量，避免了對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾，可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測(cè)量，適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測(cè)量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置：精準(zhǔn)測(cè)量的基石（一）微型激光多普勒測(cè)...

光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢(shì)的新型幾何量精密測(cè)量傳感器。以下將對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長(zhǎng)的光在被測(cè)物體表面反射后，通過色散物鏡聚焦在不同位置，從而建立位移和波長(zhǎng)之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過色散物鏡后，不同波長(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測(cè)物體處于某一特定波長(zhǎng)的焦點(diǎn)位置時(shí)，該波長(zhǎng)的光被反射回傳感器，通過成像光譜儀檢測(cè)到該波長(zhǎng)的光，從而確定被測(cè)物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**：通常為寬光譜光源，能夠提供一定波長(zhǎng)范圍的光。例如，在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長(zhǎng)范圍，以滿足不同測(cè)量需求。2. **色散物鏡**：是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL(zhǎng)的光聚焦在不同的軸向位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物體位置的精確測(cè)量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí)，需要考慮多個(gè)因素，如測(cè)量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如，有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測(cè)量范圍為 2mm，圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3，軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm，分辨率較高，并且波長(zhǎng)與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9，線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**：用于檢測(cè)反射回來的光，并確定其波長(zhǎng)。在一些研究中，采用棱鏡 - 光柵分光的方式對(duì)成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析，消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...

光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng)，為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無損檢測(cè)等特性，成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù)，包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解，反解得出被測(cè)位移。其中，色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射，是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源，其光譜分布范圍廣泛，能夠滿足不同測(cè)量需求。同時(shí)，白光LED具有壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件，其性能直接影響傳感器的測(cè)量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí)，需要考慮其軸向色散與波長(zhǎng)之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號(hào)，并確定其波長(zhǎng)，從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...

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