產(chǎn)品名稱:
大量程光譜共焦位移探頭LTC16000 測(cè)量范圍55±8mm,線性誤差2um
上市日期:
2024-05-20
參考距離:55mm |
測(cè)量范圍:±8mm |
光斑直徑:Φ15μm |
測(cè)量角度:±15.3° |
靜態(tài)噪聲:300nm |
線性誤差:<±2μm |
橫向分辨率:7.5μm |
外徑*長(zhǎng)度:φ60*211.1mm |
重量:1180g |
最小可測(cè)厚度:5% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S. /℃ |
防護(hù)等級(jí):IP40
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