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1nm重復(fù)精度的白光干涉測厚儀

上市日期: 2023-12-09

10kHz的超快采樣速度

LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件,

能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。


+20nm的超高線性精度

獨(dú)立設(shè)計(jì)的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭,能夠帶來極為出色的線性特性。

基于干涉原理的測厚探頭,無原理層面引入的非線性因素,

只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。


1nm的超高重復(fù)精度

采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時(shí)在探頭中實(shí)現(xiàn)內(nèi)部信號數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。

同時(shí)基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動(dòng)的抑制能力。


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1nm重復(fù)精度的白光干涉測厚儀

1nm重復(fù)精度的白光干涉測厚儀


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  • 發(fā)布時(shí)間: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采樣速度LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件,能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨(dú)立設(shè)計(jì)的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭,能夠帶來極為出色的線性特性。基于干涉原理的測厚探頭,無原理層面引入的非線性因素,只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。1nm的超高重復(fù)精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時(shí)在探頭中實(shí)現(xiàn)內(nèi)部信號數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。同時(shí)基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動(dòng)的抑制能力。
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 09 - 06
    基于調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)的相干接收原理,高精度的測距。實(shí)現(xiàn)微米級的遠(yuǎn)距準(zhǔn)確測距。通過集成光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)超高精度的測量硅基光電集成技術(shù),一體化的光學(xué)封裝技術(shù),實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器和探測器集成統(tǒng)一光學(xué)傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質(zhì)顏色、環(huán)境光等干擾同軸測量無死角輕量、便攜無需控制器、放大器等,只一個(gè)傳感器即可測量。數(shù)字化 可與多個(gè)開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)兼容。檢測不受限通過物體的表面反射或遮光量進(jìn)行檢測,可檢測大多數(shù)物體(玻璃、金屬、塑料、木料及液體等)。長距離 高功率傳感器,輕松進(jìn)行長距離檢測。非接觸采用激光非接觸測量方法,對被測設(shè)備無任何影響且不會(huì)產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長,無需進(jìn)行維護(hù)。同軸回光 支持狹小空間間隙檢測。高精度 小光斑可精確檢測小微型物體。穩(wěn)定檢測 根據(jù)工件設(shè)置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 08 - 12
    更小的測量盲區(qū)更高精度的尺寸及位移復(fù)現(xiàn)能力高靈敏度光學(xué)非接觸測量多膜層/多層玻璃測厚能力同軸式測量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測量盲區(qū),適合復(fù)雜細(xì)微結(jié)構(gòu)(如深溝槽結(jié)構(gòu)等)的測量。針對光譜共焦位移傳感器研制開發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片,能夠?qū)崿F(xiàn)最小10微米的成像光斑,同時(shí)提高測量線性精度。針對光譜共焦位移傳感器定制開發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源,都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度,能夠?qū)Ρ砻娣祷氐臉O弱的光強(qiáng)(如薄膜等透明物體)完成測量。光譜共焦傳感器適合各種材料的測量,并能確保對不同材料的測量性能,同時(shí)支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。抗干擾模塊化探頭安裝于測量現(xiàn)場的探頭是純光學(xué)器件,通過光纖與控制器連接,因此可以避免現(xiàn)場電磁干擾對測量精度的影響。探頭口徑可以設(shè)計(jì)到Φ10mm以下,適合并排布置進(jìn)行多個(gè)關(guān)鍵位置的測量。同時(shí)探頭可以設(shè)計(jì)到±60°的測量角度,滿足曲面玻璃的測量
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 04 - 20
    高韌性線纜,配備至機(jī)器人時(shí)也可放心使用。完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)的連接器,在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場環(huán)境中也可放心使用,傳感頭也完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)。光量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,有效提高光亮調(diào)整的靈敏度,自動(dòng)根據(jù)不同被測物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除,同時(shí)將畸變的影響降至最低,大幅提高測量系統(tǒng)的線性精度。
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專業(yè)從事激光位移傳感器,激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司
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  • 1
    2022 - 12 - 03
    激光測距傳感器的功能,你了解多少呢?大家好,我是無錫宏川傳感學(xué)堂的李同學(xué)。激光測距傳感器的功能可分為距離測量和窗口測量。其中距離測量在測距應(yīng)用中傳感器可以隨時(shí)投入使用。直接給出與物體之間的距離。測量值可用于系統(tǒng)控制或者物體的精準(zhǔn)定位。此外還可以選擇對數(shù)字量模擬,量輸出進(jìn)行調(diào)整。如果需要檢測尺寸較小的物體。可直接進(jìn)行窗口測量。通過對參照物進(jìn)行自學(xué)習(xí),傳感器可直接測得與標(biāo)稱尺寸的偏差。在這種情況下,數(shù)字量輸出也可以進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行。除了傳感器的尺寸和測量范圍。光斑的形狀也尤其重要,點(diǎn)擊光代表精準(zhǔn)聚焦。能精確測量小尺寸的物體。線激光能可靠測量粗糙度比較大的表面積。帶紋理的彩色表面。在光澤不均勻或極其粗糙的表面上也能進(jìn)行穩(wěn)定的測量。
  • 2
    2023 - 10 - 01
    '新吳科之匠',泓川科技有限公司全新打造的傳感器新標(biāo)桿,我們凝聚高端技術(shù)力量,專注于高精度、高性能的激光位移傳感器LTP系列,光譜共焦傳感器LTC系列,白光干涉測厚傳感器,線光譜共焦傳感器,以及3D結(jié)構(gòu)光和3D線激光。 強(qiáng)大的研發(fā)能力和對細(xì)節(jié)無窮追求,讓我們的產(chǎn)品在每個(gè)細(xì)微處都彰顯出卓越品質(zhì)。'新吳科之匠'不僅寓意著尖端科技的集中體現(xiàn),更代表著對品質(zhì)的極致追求。我們相信,只有最好,才能過硬。
  • 3
    2023 - 10 - 11
    激光測距傳感器對射技術(shù)在自動(dòng)化生產(chǎn)線上的應(yīng)用愈發(fā)廣泛,今天我們將介紹一個(gè)基于兩臺(tái)激光測距傳感器上下對射來檢測橡膠帶接縫的案例。在橡膠帶的生產(chǎn)過程中,橡膠帶的接縫是一個(gè)非常關(guān)鍵的部位。由于橡膠帶在運(yùn)輸行走的過程中,其厚度會(huì)隨著接縫的存在而變化。接縫是由兩個(gè)橡膠帶重疊在一起形成的,因此接縫的厚度顯然會(huì)大于橡膠帶本身。為了保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率,我們需要及時(shí)準(zhǔn)確地檢測并計(jì)數(shù)橡膠帶的接縫。我們采用了兩臺(tái)激光測距傳感器進(jìn)行上下對射的方式來實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。具體操作如下:首先,將一臺(tái)激光測距傳感器安裝在橡膠帶上方,另一臺(tái)安裝在橡膠帶下方,使得兩臺(tái)傳感器之間垂直對射。通過激光束的反射和接收時(shí)間的測量,可以獲取到橡膠帶表面和接縫的距離信息。當(dāng)橡膠帶的接縫位置經(jīng)過測距傳感器時(shí),根據(jù)上文提到的厚度大于閾值的特點(diǎn),我們可以通過一個(gè)內(nèi)部的比較器來判斷是否檢測到了接縫。當(dāng)橡膠帶的厚度數(shù)據(jù)高于預(yù)設(shè)的閾值時(shí),比較器將輸出一個(gè)開關(guān)量信號,表示接縫位置被檢測到。通過這種方式,我們不需要具體測量接縫的厚度數(shù)值,只需要一個(gè)開關(guān)量信號,就可以實(shí)現(xiàn)對橡膠帶接縫位置質(zhì)量的檢測和接縫數(shù)量的計(jì)數(shù)。這對于保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率具有重要意義。總結(jié)起來,利用兩臺(tái)激光測距傳感器上下對射的方法,結(jié)合內(nèi)部的比較器功能,我們可以實(shí)現(xiàn)對橡膠帶接縫位置的檢測。這種技術(shù)應(yīng)用既簡單又有效,可以在自動(dòng)化生產(chǎn)線中廣泛應(yīng)用,提高生產(chǎn)效率并確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定...
  • 4
    2022 - 12 - 03
    無論是半導(dǎo)體加工過程中還是鋰電池制造過程中總是伴隨著腐蝕,高溫振動(dòng)等惡劣環(huán)境,為了保證生產(chǎn)的高效穩(wěn)定,無錫泓川科技推出了多種具有不同鋼鐵不銹鋼金屬外殼的激光位移傳感器,具有高防護(hù)性,可以從容的面對各種復(fù)雜的環(huán)境。在生產(chǎn)過程中總是在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行。在當(dāng)今的環(huán)境中,自動(dòng)化解決方案有時(shí)會(huì)暴露在非常困難的生產(chǎn)條件下。而且還必須具有可靠的功能,這對傳感器技術(shù)來說是一個(gè)挑戰(zhàn)。無錫泓川科技有限公司廣泛的測試程序,確保了我們的激光位移傳感器能夠承受惡劣的環(huán)境要求。例如在電子行業(yè)中電子產(chǎn)品在我們?nèi)粘I钪邪缪葜匾慕巧o論是在電動(dòng)巴士和汽車的電池中,還是在太陽能發(fā)電模塊中。自動(dòng)化生產(chǎn)在電子工業(yè)的許多領(lǐng)域都是非常復(fù)雜的。真空和高溫環(huán)境是隨處可見的。使用的化學(xué)物質(zhì)具有腐蝕性。這不僅影響生產(chǎn)條件和機(jī)器在許多應(yīng)用領(lǐng)域,傳感器解決方案也面臨著新的挑戰(zhàn)。那么能滿足這些挑戰(zhàn)的出色的激光位移傳感器是什么樣的呢?在某些情況他必須能抗抵抗至少70度到100度的高溫。或者他必須能承受真空環(huán)境并且具有腐蝕性,化學(xué)物質(zhì)的過程中也能抗拒。他應(yīng)該有特別耐用的材料制成如不銹鋼甚至特氟龍材料。無錫泓川科技有限公司提供范圍廣泛的激光位移傳感器和激光位移傳感器技術(shù),尤其適用于惡劣環(huán)境。
  • 5
    2024 - 01 - 21
    摘要:本文將詳細(xì)闡述高精度激光測距傳感器在鋰電池極片厚度測量中的應(yīng)用情況。我們使用的激光測距傳感器能夠準(zhǔn)確測量涂層厚度在1-10μm之間的極片,而且其精度能達(dá)到0.15μm。并且,通過特殊的同步計(jì)算過程和測厚技術(shù),我們成功解決了由于極片在制造過程中的起伏變動(dòng)帶來的測量誤差。我們的傳感器還具有定制化的寬光斑特性,能夠應(yīng)對涂層厚度不均勻的情況,從而得到極片全表面的平均值。1. 導(dǎo)言鋰電池在移動(dòng)設(shè)備、電動(dòng)汽車等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛,其中極片的涂層厚度對電池性能影響顯著。傳統(tǒng)的接觸式和機(jī)械式測量方法經(jīng)常無法滿足需求,而我們的高精度激光測距傳感器正好擁有非接觸測量和高精度測量的優(yōu)勢。2. 測量系統(tǒng)與技術(shù)我們使用的是一種高精度激光測距傳感器,它可以準(zhǔn)確測量出微米級別的厚度,并且精度能夠達(dá)到0.15μm。我們通過使用專業(yè)的同步運(yùn)算程序和射測厚技術(shù),成功地解決了由于極片在制造過程中的起伏變動(dòng)帶來的測量誤差問題。此外,該傳感器還具有定制化的寬光斑特性,能夠應(yīng)對涂層厚度不均勻的情況,從而得到極片全表面的平均值。3. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與效果分析多次實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,我們使用的激光測距傳感器在鋰電池極片厚度測量中展現(xiàn)出了可靠性和準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,該傳感器能夠穩(wěn)定地測量出微米級別的涂層厚度。通過專業(yè)的同步運(yùn)算程序和射測厚技術(shù),我們成功地解決了測量誤差問題。定制化的寬光斑特性使得傳感器可以應(yīng)對涂層厚度不均勻的情況,從而...
  • 6
    2023 - 10 - 20
    面對反射率不同的目標(biāo)物時(shí),激光位移傳感器需要調(diào)整以下方面以確保測量的穩(wěn)定性:根據(jù)目標(biāo)物的反射率變化,調(diào)整接收光量。反射率較高的目標(biāo)物可能導(dǎo)致光量飽和,而反射率較低的目標(biāo)物可能無法獲得足夠的接收光量。因此,需要根據(jù)目標(biāo)物的反射特性,適時(shí)調(diào)整激光位移傳感器的接收光量,以使其處于最佳工作狀態(tài)。使用光量控制范圍調(diào)整功能。這種功能可以預(yù)先決定接收光量的上限和下限,縮短獲取最佳光量的時(shí)間,從而可以更快地調(diào)整光量。針對反射率較高的目標(biāo)物,需要減小激光功率和縮短發(fā)射時(shí)間,以避免光量飽和。而對于反射率較低的目標(biāo)物,則應(yīng)增大激光功率和延長發(fā)射時(shí)間,以確保獲得足夠的接收光量。在調(diào)整過程中,需要注意測量反射率急劇變化位置的穩(wěn)定程度,以及使用光量調(diào)整功能以外功能時(shí)的穩(wěn)定程度。如果無法穩(wěn)定測量反射率不同的目標(biāo)物,可能是由于目標(biāo)物的反射光因顏色、反光、表面狀況(粗度、傾斜度)等因素而發(fā)生變化,導(dǎo)致感光元件(接收光波形)上形成的光點(diǎn)狀態(tài)也會(huì)隨之變化。這種情況下,需要通過反復(fù)試驗(yàn)和調(diào)整,找到最佳的激光位移傳感器工作參數(shù)。總結(jié)來說,激光位移傳感器需要根據(jù)目標(biāo)物的反射率變化,調(diào)整接收光量、激光發(fā)射時(shí)間、激光功率和增益等參數(shù),以確保測量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。同時(shí),需要注意目標(biāo)物的反射特性及其變化情況,以便及時(shí)調(diào)整激光位移傳感器的參數(shù)。
  • 7
    2022 - 12 - 05
    今天我們討論的是條碼閱讀器的性能冗余,高性能條碼閱讀器有哪些優(yōu)勢呢?有時(shí)在使用中條碼閱讀器在調(diào)試時(shí)。不能很好的對準(zhǔn)。或者條碼閱讀器在使用一段時(shí)間后出現(xiàn)故障和校準(zhǔn)錯(cuò)誤。紙箱和包裹也可能出現(xiàn)大幅度變形或者傾斜。或者定義范圍不合適。或者超出質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),甚至有時(shí)還會(huì)達(dá)到,沒有達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的class a,條碼標(biāo)準(zhǔn)。例如條碼印刷不清晰或者褪色。在所有的這種條件情況下,我們的條碼閱讀器的性能冗余就派上用場了。       條碼閱讀器達(dá)到參數(shù)限制時(shí)。通常需要性的目的,也就是說即使閱讀條件不在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi),足夠高的讀取質(zhì)量也能解決這個(gè)問題。即使在極端條件下,我們專門開發(fā)的光學(xué)和模擬電子裝置也能可靠讀取條碼信息。我給大家演示一下,在這個(gè)簡單的裝置中,條碼閱讀器通過以太網(wǎng)連接到PC,可以使用web對口激活調(diào)節(jié)模式,然后通過圖表顯示質(zhì)量,如果條碼印刷質(zhì)量較好,清潔角度高達(dá)±30度,也能保證實(shí)現(xiàn)可靠性,但您可以看到我們產(chǎn)品的檢測范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過低級的限制。我們將這個(gè)產(chǎn)品功能,稱為性能榮譽(yù),該功能可以實(shí)現(xiàn)非常高的錄取質(zhì)量和應(yīng)用可靠性。您在應(yīng)用中遇到哪些問題呢?請聯(lián)系我們。
  • 8
    2024 - 01 - 21
    光譜共焦位移傳感器是一種利用光譜干涉測量物體位移和形變的高精度測量設(shè)備。為了確保測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,暗校準(zhǔn)(DARK)操作的執(zhí)行及其有效掌握是至關(guān)重要的。首先,我們需要明確什么時(shí)候需要進(jìn)行暗校準(zhǔn)。主要場景包括系統(tǒng)重新連接、環(huán)境溫度變動(dòng)10℃以上以及傳感器圖像出現(xiàn)異常跳動(dòng)起伏等情況。對于這些情況,都建議重新進(jìn)行暗校準(zhǔn)操作,以修正任何可能的誤差。暗校準(zhǔn)操作的具體流程如下:1. 清潔光纖:在開始進(jìn)行暗校準(zhǔn)之前,務(wù)必要清潔光纖端,以消除灰塵和油脂的干擾。這是因?yàn)檫@些雜質(zhì)會(huì)反射光線,增加背景光的影響。2. 插牢光纖:正確并且穩(wěn)固地連接光纖,避免由于連接處的反射,導(dǎo)致背景光的增強(qiáng)。3. 遮擋**:在執(zhí)行暗校準(zhǔn)時(shí),需要使用深色物體對**進(jìn)行完全遮擋,避免環(huán)境光的干擾。如果環(huán)境沒有強(qiáng)光源,只需將被測物體移出測量范圍,就可以進(jìn)行暗校準(zhǔn)。4. 執(zhí)行暗校準(zhǔn):完成上述流程后,便可進(jìn)行暗校準(zhǔn)操作。若暗校準(zhǔn)效果不理想,需要重新檢查并確保光纖清潔和連接正常。5. 溫度變化時(shí)重新暗校準(zhǔn):由于環(huán)境溫度的改變可能影響光源的亮度,因此當(dāng)溫度變化超過10℃時(shí),應(yīng)重新進(jìn)行暗校準(zhǔn),以保證準(zhǔn)確性。除此之外,某些廠商如立儀、基恩士及普雷茨特Mini型等采用了優(yōu)化設(shè)計(jì),通過將耦合器外置或使用棱鏡耦合器以及收發(fā)光纖分離的方案,能有效降低接口污染對背景光的影響,提升傳感器性能和穩(wěn)定性。總的來說,暗校準(zhǔn)是光譜共焦位移傳感器獲取準(zhǔn)確穩(wěn)定...
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激光測振技術(shù):旋轉(zhuǎn)機(jī)械檢測的核心手段 2024 - 12 - 22 在旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行過程中,振動(dòng)情況直接關(guān)乎其性能與安全。激光測振動(dòng)傳感器憑借其獨(dú)特優(yōu)勢,成為該領(lǐng)域不可或缺的檢測利器。它采用非接觸式測量,有效避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾,確保測量的精準(zhǔn)性。其高精度的特性,能夠捕捉到極其微小的振動(dòng)變化,為故障診斷提供可靠依據(jù)。廣泛的應(yīng)用范圍涵蓋了電機(jī)、風(fēng)機(jī)、軸承等各類旋轉(zhuǎn)機(jī)械,在能源、化工、機(jī)械制造等眾多行業(yè)都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測振動(dòng)數(shù)據(jù),可及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題,預(yù)防設(shè)備故障,保障生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性,大大降低維修成本與停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。工作原理:激光與振動(dòng)的深度互動(dòng)激光測振動(dòng)傳感器基于激光多普勒效應(yīng)工作。當(dāng)激光照射到旋轉(zhuǎn)機(jī)械的振動(dòng)表面時(shí),由于物體表面的振動(dòng),反射光的頻率會(huì)發(fā)生多普勒頻移。設(shè)激光源發(fā)射的激光頻率為,物體表面振動(dòng)速度為,激光波長為,則多普勒頻移可由公式計(jì)算得出。通過精確測量多普勒頻移,就能得到物體表面的振動(dòng)速度,進(jìn)而獲取振動(dòng)信息。與傳統(tǒng)測量原理相比,激光多普勒測振具有顯著優(yōu)勢。傳統(tǒng)的接觸式測量方法,如壓電式傳感器,需要與被測物體直接接觸,這不僅會(huì)對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的運(yùn)行產(chǎn)生一定干擾,還可能因安裝問題影響測量精度,而且在高速旋轉(zhuǎn)或微小振動(dòng)測量時(shí),接觸式傳感器的響應(yīng)速度和精度受限。而激光測振傳感器采用非接觸式測量,避免了對旋轉(zhuǎn)機(jī)械的物理干擾,可實(shí)現(xiàn)高精度、寬頻帶的測量,適用于各種復(fù)雜工況下的旋轉(zhuǎn)機(jī)械振動(dòng)測量。實(shí)驗(yàn)設(shè)置:精準(zhǔn)測量的基石(一)微型激光多普勒測...
光譜共焦位移傳感器的那些事兒 2024 - 12 - 22 **光譜共焦傳感器是一種具有高精度、高效以及非接觸等技術(shù)優(yōu)勢的新型幾何量精密測量傳感器。以下將對光譜共焦傳感器進(jìn)行詳細(xì)介紹。****一、光譜共焦傳感器的工作原理**光譜共焦傳感器利用不同波長的光在被測物體表面反射后,通過色散物鏡聚焦在不同位置,從而建立位移和波長之間的關(guān)系。光源發(fā)出的光經(jīng)過色散物鏡后,不同波長的光聚焦在不同的軸向位置。當(dāng)被測物體處于某一特定波長的焦點(diǎn)位置時(shí),該波長的光被反射回傳感器,通過成像光譜儀檢測到該波長的光,從而確定被測物體的位置。**二、光譜共焦傳感器的組成部分**1. **光源**:通常為寬光譜光源,能夠提供一定波長范圍的光。例如,在一些研究中提到的寬光譜光源可以覆蓋特定的波長范圍,以滿足不同測量需求。2. **色散物鏡**:是光譜共焦傳感器的關(guān)鍵組成部分之一。它能夠?qū)⒉煌ㄩL的光聚焦在不同的軸向位置,從而實(shí)現(xiàn)對被測物體位置的精確測量。設(shè)計(jì)色散物鏡時(shí),需要考慮多個(gè)因素,如測量范圍、圖像空間數(shù)值孔徑、軸向響應(yīng)等。例如,有研究設(shè)計(jì)的色散物鏡測量范圍為 2mm,圖像空間數(shù)值孔徑為 0.3,軸向響應(yīng) FWHM 優(yōu)于 5μm,分辨率較高,并且波長與位移之間的判定系數(shù)優(yōu)于 0.9,線性關(guān)系良好。3. **成像光譜儀**:用于檢測反射回來的光,并確定其波長。在一些研究中,采用棱鏡 - 光柵分光的方式對成像光譜儀的后端進(jìn)行模擬和分析,消除了成像光譜儀中的譜線彎曲。**三、...
光譜共焦位移傳感器制造技術(shù)詳解 2024 - 12 - 11 摘要光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的光電位移傳感器,廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片檢測、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。本文詳細(xì)闡述了光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù),包括生產(chǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)、工藝流程以及需要注意的具體事項(xiàng),為相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)提供參考。引言隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高。光譜共焦位移傳感器以其高精度、非接觸式、實(shí)時(shí)無損檢測等特性,成為解決這一問題的有效手段。本文旨在詳細(xì)介紹光譜共焦位移傳感器的制造技術(shù),包括關(guān)鍵零部件的選擇、生產(chǎn)工藝流程以及制造過程中需要注意的事項(xiàng)。一、光譜共焦位移傳感器的基本原理光譜共焦位移傳感器由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息,再利用光譜儀進(jìn)行光譜分解,反解得出被測位移。其中,色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射,是傳感器的核心部件。二、關(guān)鍵零部件的選擇1. 光源選擇白光LED作為光源,其光譜分布范圍廣泛,能夠滿足不同測量需求。同時(shí),白光LED具有壽命長、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),適合用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。2. 色散鏡頭色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的關(guān)鍵部件,其性能直接影響傳感器的測量精度和分辨率。在選擇色散鏡頭時(shí),需要考慮其軸向色散與波長之間的線性度、色散范圍以及鏡頭材料等因素。3. 光譜儀光譜儀用于接收通過小孔的光信號,并確定其波長,從而實(shí)現(xiàn)位移分辨。在選擇...
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