10kHz的超快采樣速度
LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件,
能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。
+20nm的超高線性精度
獨(dú)立設(shè)計(jì)的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭,能夠帶來極為出色的線性特性。
基于干涉原理的測厚探頭,無原理層面引入的非線性因素,
只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。
1nm的超高重復(fù)精度
采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時(shí)在探頭中實(shí)現(xiàn)內(nèi)部信號數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。
同時(shí)基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動(dòng)的抑制能力。