国产色午夜巨乳av,亚洲中文色网站,免费人成视频在在线观看,翁熄性放纵苏玥100章

服務熱線: 0510-88155119
13301510675@163.com
Language
項目案例 Case
Case 光譜共聚焦

晶圓表面瑕疵與加工精度檢測技術案例研究:基于單點光譜共焦位移傳感器的解決方案

日期: 2024-11-14
瀏覽次數(shù):

摘要

本文介紹了一種利用單點光譜共焦位移傳感器結(jié)合高精度三維掃描移動平臺,對晶圓表面進行全面掃描檢測的方法。該方法旨在以較低的成本實現(xiàn)高精度表面瑕疵與加工精度的檢測,特別適用于對表面質(zhì)量要求極高的半導體制造行業(yè)。通過詳細闡述測量原理、系統(tǒng)構(gòu)成、操作步驟及數(shù)據(jù)分析方法,本文展示了該技術在確保測量精度的同時,如何有效控制成本。

1. 引言

晶圓作為半導體器件的基礎材料,其表面的微小瑕疵和加工精度直接影響最終產(chǎn)品的性能和良率。傳統(tǒng)檢測方法如電子顯微鏡掃描雖精度高,但成本高昂且效率低下。本研究提出了一種基于單點光譜共焦位移傳感器的掃描方案,旨在平衡成本與精度,滿足工業(yè)生產(chǎn)的需求。


晶圓表面瑕疵與加工精度檢測技術案例研究:基于單點光譜共焦位移傳感器的解決方案
圖片上傳失敗


2. 測量原理與系統(tǒng)構(gòu)成

2.1 單點光譜共焦位移傳感器
單點光譜共焦位移傳感器通過測量物體表面反射光的波長變化來確定物體與傳感器之間的距離,其精度可達0.1μm。該傳感器利用色散原理,將不同波長的光聚焦于不同的位置,當被測物體表面微小位移時,反射光的波長分布會發(fā)生變化,從而實現(xiàn)對位移的高精度測量。

2.2 三維掃描移動平臺
為實現(xiàn)對晶圓表面的全面掃描,采用三維掃描移動平臺,該平臺能夠在X、Y、Z三個方向上移動,配合傳感器進行逐點測量。普通三維移動平臺的Z軸精度一般在1μm左右,為提高精度,本研究選用帶有干涉糾偏功能的移動平臺,其Z軸定位精度可達10nm,顯著減少了移動過程中的誤差。


晶圓表面瑕疵與加工精度檢測技術案例研究:基于單點光譜共焦位移傳感器的解決方案
添加圖片注釋,不超過 140 字(可選)


3. 測量步驟與方法

3.1 系統(tǒng)校準
  • 平面校準:使用已知高度的標準平面進行初始校準,確保傳感器與移動平臺的垂直度和平行度。
  • 干涉糾偏校準:開啟干涉糾偏功能,通過激光干涉儀對移動平臺進行精細校準,確保Z軸移動精度。


晶圓表面瑕疵與加工精度檢測技術案例研究:基于單點光譜共焦位移傳感器的解決方案
添加圖片注釋,不超過 140 字(可選)


3.2 掃描路徑規(guī)劃
  • 根據(jù)晶圓直徑和所需分辨率,設定掃描路徑。例如,對于直徑300mm的晶圓,若要求每平方毫米至少一個測量點,則需規(guī)劃數(shù)百萬個測量點。
  • 采用螺旋或柵格狀掃描路徑,確保全面覆蓋且避免遺漏。

3.3 數(shù)據(jù)采集
  • 移動平臺按照預定路徑移動,每到達一個測量點,單點光譜共焦傳感器記錄該點的距離信息。
  • 所有測量點的數(shù)據(jù)被實時記錄,形成原始點云數(shù)據(jù)集。
3.4 點云圖生成與分析
  • 利用軟件對原始點云數(shù)據(jù)進行處理,構(gòu)建三維表面模型。
  • 通過比較實際表面模型與理想模型(或前一批次良品模型),識別出表面瑕疵(如凸起、凹陷)和加工精度偏差。
  • 應用統(tǒng)計分析方法,如均方根誤差(RMSE)計算,量化評估晶圓表面的整體加工質(zhì)量。


晶圓表面瑕疵與加工精度檢測技術案例研究:基于單點光譜共焦位移傳感器的解決方案
添加圖片注釋,不超過 140 字(可選)


4. 數(shù)據(jù)分析示例

假設某次掃描獲得的點云數(shù)據(jù)包含1,000,000個點,通過計算每個點與理想表面的偏差,得到以下統(tǒng)計結(jié)果:
  • 平均偏差:0.05μm
  • 最大偏差:0.3μm
  • RMSE:0.12μm
這些數(shù)據(jù)表明,大部分區(qū)域的加工精度控制在較高水平,但存在個別點偏差較大,需進一步分析原因并采取改進措施。

5. 結(jié)論

本研究提出的基于單點光譜共焦位移傳感器與高精度三維掃描移動平臺的晶圓表面檢測技術,有效結(jié)合了高精度測量與成本控制。通過精細的校準、合理的掃描路徑規(guī)劃以及高效的數(shù)據(jù)分析方法,實現(xiàn)了對晶圓表面瑕疵和加工精度的全面檢測。該技術不僅適用于半導體制造業(yè),還可推廣至其他對表面精度要求極高的領域,如光學元件、精密機械加工等。

6. 展望

未來研究可探索更高效率的數(shù)據(jù)處理算法,以及如何將此技術與其他檢測技術(如機器視覺)融合,進一步提升檢測速度與準確性,為智能制造提供更加強大的質(zhì)量控制工具。


Case / 相關推薦
2025 - 02 - 26
點擊次數(shù): 13
...


技術背景光學鏡片作為精密成像器件的核心組件,其中心厚度公差需控制在±2μm以內(nèi)。傳統(tǒng)接觸式測量存在兩大局限:機械探針易劃傷鏡片鍍膜層對低反射率增透膜(反射率泓川科技LTC4000F系列光譜共焦傳感器通過非接觸式測量技術,結(jié)合智能算法優(yōu)化,成功突破行業(yè)瓶頸。核心設備特性LTC4000F系列差異化配置型號光斑尺寸適用場景關鍵參數(shù)LTC4000FΦ16μm高曲率鏡片(R重復精度0.1μmLTC...
2025 - 02 - 26
點擊次數(shù): 20
...


技術挑戰(zhàn)與行業(yè)痛點光伏板硅片柵線厚度的測量面臨多重挑戰(zhàn):表面覆蓋銀漿、氮化硅減反射膜等多層異質(zhì)材料,存在鏡面反射與半透明膜層共存現(xiàn)象;柵線寬度僅20-50μm且邊緣陡峭(傾角>60°);傳統(tǒng)接觸式測厚儀易損傷脆性硅片,而激光三角法在多層膜場景下易產(chǎn)生信號串擾。行業(yè)要求厚度測量誤差≤0.5μm,采樣效率需匹配產(chǎn)線每分鐘60片的檢測節(jié)拍。LTC4000N系列光譜共焦傳感器的技術優(yōu)勢基于附件參...
2025 - 02 - 25
點擊次數(shù): 19
...


行業(yè)痛點與挑戰(zhàn)鋰電池外殼邊緣涂膠工藝(槽深5mm×寬3mm)對膠體連續(xù)性、填充均勻性及邊緣貼合度要求嚴苛,直接影響電池密封性與安全性。傳統(tǒng)激光位移傳感器因光斑發(fā)散(≥50μm)、抗遮擋能力弱,在深窄槽內(nèi)易受側(cè)壁反射干擾,導致拐彎區(qū)域信號丟失、斷膠漏檢率高達15%以上。此外,膠體固化前的反光差異、產(chǎn)線振動及環(huán)境溫漂(±5°C)進一步加劇測量誤差,傳統(tǒng)方案難以滿足...
2025 - 02 - 22
點擊次數(shù): 43
...


一、行業(yè)痛點與技術突破在熱軋生產(chǎn)線中,軋輥形變(輥縫偏差)和表面磨損是影響帶鋼厚度公差(±5μm)的關鍵因素。傳統(tǒng)接觸式測量面臨三大技術瓶頸:環(huán)境耐受性不足:軋制區(qū)溫度達800℃+,存在水霧、氧化皮干擾動態(tài)測量局限:軋輥線速度15-25m/s時的實時監(jiān)測需求測量精度衰減:軋輥直徑1200mm時,0.01mm形變導致帶鋼厚度偏差0.1%二、激光位移傳感系統(tǒng)架構(gòu)2.1 系統(tǒng)組成模塊技術規(guī)格功...
2025 - 02 - 21
點擊次數(shù): 19
...


一、光譜共焦技術原理與粗糙度測量優(yōu)勢光譜共焦傳感器通過白光光源的寬光譜特性,利用色散透鏡將不同波長的光聚焦于被測物體表面不同深度。反射光經(jīng)光柵分光后,由高速光譜儀解析峰值波長,從而精確計算表面形貌。相較于接觸式探針或激光三角法,其技術優(yōu)勢在于:非接觸測量:避免劃傷精密表面(如光學鏡片、芯片封裝層)亞微米級縱向分辨率:典型值可達10nm(取決于光譜儀性能)強抗干擾性:不受材質(zhì)反射率差異影響,可測高反...
2025 - 02 - 15
點擊次數(shù): 26
...


引言在精密制造領域,玻璃管壁厚測量精度直接關系到制藥灌裝、光纖通信等關鍵行業(yè)的良品率。傳統(tǒng)接觸式測量因機械應力導致的0.3-0.8μm表面形變誤差,已無法滿足微米級質(zhì)量控制需求。本文基于泓川科技LTC7000系列光譜共焦傳感器技術參數(shù),深度剖析非接觸式激光測厚技術的核心突破。一、光譜共焦技術原理與設備架構(gòu)1.1 波長編碼測量機制光譜共焦傳感器通過寬帶光源(通常為450-700nm)發(fā)射多波長光束,...
About Us
關于泓川科技
專業(yè)從事激光位移傳感器,激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司
中國 · 無錫 · 總部地址:無錫新吳區(qū)天山路6號
銷售熱線:0510-88155119 
圖文傳真:0510-88152650
Working Time
我們的工作時間
周一至周五:8:00-18:00
周六至周日:9:00-15:00
Shown 企業(yè)秀 More
  • 1
    2022 - 12 - 03
    ...


    無論是半導體加工過程中還是鋰電池制造過程中總是伴隨著腐蝕,高溫振動等惡劣環(huán)境,為了保證生產(chǎn)的高效穩(wěn)定,無錫泓川科技推出了多種具有不同鋼鐵不銹鋼金屬外殼的激光位移傳感器,具有高防護性,可以從容的面對各種復雜的環(huán)境。在生產(chǎn)過程中總是在惡劣的環(huán)境中進行。在當今的環(huán)境中,自動化解決方案有時會暴露在非常困難的生產(chǎn)條件下。而且還必須具有可靠的功能,這對傳感器技術來說是一個挑戰(zhàn)。無錫泓川科技有限公司廣泛的測試程序,確保了我們的激光位移傳感器能夠承受惡劣的環(huán)境要求。例如在電子行業(yè)中電子產(chǎn)品在我們?nèi)粘I钪邪缪葜匾慕巧o論是在電動巴士和汽車的電池中,還是在太陽能發(fā)電模塊中。自動化生產(chǎn)在電子工業(yè)的許多領域都是非常復雜的。真空和高溫環(huán)境是隨處可見的。使用的化學物質(zhì)具有腐蝕性。這不僅影響生產(chǎn)條件和機器在許多應用領域,傳感器解決方案也面臨著新的挑戰(zhàn)。那么能滿足這些挑戰(zhàn)的出色的激光位移傳感器是什么樣的呢?在某些情況他必須能抗抵抗至少70度到100度的高溫。或者他必須能承受真空環(huán)境并且具有腐蝕性,化學物質(zhì)的過程中也能抗拒。他應該有特別耐用的材料制成如不銹鋼甚至特氟龍材料。無錫泓川科技有限公司提供范圍廣泛的激光位移傳感器和激光位移傳感器技術,尤其適用于惡劣環(huán)境。
  • 2
    2024 - 01 - 21
    ...


    摘要:本文將詳細闡述高精度激光測距傳感器在鋰電池極片厚度測量中的應用情況。我們使用的激光測距傳感器能夠準確測量涂層厚度在1-10μm之間的極片,而且其精度能達到0.15μm。并且,通過特殊的同步計算過程和測厚技術,我們成功解決了由于極片在制造過程中的起伏變動帶來的測量誤差。我們的傳感器還具有定制化的寬光斑特性,能夠應對涂層厚度不均勻的情況,從而得到極片全表面的平均值。1. 導言鋰電池在移動設備、電動汽車等領域的應用日益廣泛,其中極片的涂層厚度對電池性能影響顯著。傳統(tǒng)的接觸式和機械式測量方法經(jīng)常無法滿足需求,而我們的高精度激光測距傳感器正好擁有非接觸測量和高精度測量的優(yōu)勢。2. 測量系統(tǒng)與技術我們使用的是一種高精度激光測距傳感器,它可以準確測量出微米級別的厚度,并且精度能夠達到0.15μm。我們通過使用專業(yè)的同步運算程序和射測厚技術,成功地解決了由于極片在制造過程中的起伏變動帶來的測量誤差問題。此外,該傳感器還具有定制化的寬光斑特性,能夠應對涂層厚度不均勻的情況,從而得到極片全表面的平均值。3. 實驗結(jié)果與效果分析多次實驗結(jié)果證明,我們使用的激光測距傳感器在鋰電池極片厚度測量中展現(xiàn)出了可靠性和準確性。實驗結(jié)果顯示,該傳感器能夠穩(wěn)定地測量出微米級別的涂層厚度。通過專業(yè)的同步運算程序和射測厚技術,我們成功地解決了測量誤差問題。定制化的寬光斑特性使得傳感器可以應對涂層厚度不均勻的情況,從而...
  • 3
    2025 - 04 - 07
    ...


    在大型工件檢測、鋰電池極片測厚、航空航天等高精度長距測量場景中,傳感器需兼具大范圍掃描能力與微米級精度,同時解決多設備空間協(xié)同難題。無錫泓川科技LTPD50激光位移傳感器創(chuàng)新采用中空分體式結(jié)構(gòu)設計,以50mm超長參考距離、0.05μm重復精度及進口半價成本,突破進口設備在長距高精度領域的壟斷,為工業(yè)用戶提供“遠距精準測量+多設備同軸集成”的國產(chǎn)化標桿方案。核心優(yōu)勢:中空架構(gòu)+超長量程,重構(gòu)工業(yè)檢測邊界中空同軸設計,賦能多設備協(xié)同φ25mm貫通孔:傳感器主體中空,支持工業(yè)相機、激光打標頭等外設直接穿過,實現(xiàn)測量點與操作中心零偏差同軸,解決傳統(tǒng)長距傳感器體積大、遮擋視野的痛點。超薄機身:緊湊型設計(74205110mm),適配機器人導軌、自動化產(chǎn)線等空間受限場景,安裝靈活性提升60%。長距高精度,性能對標進口50mm參考距離±0.8mm量程:覆蓋鋰電池極片、金屬板材等大尺寸工件的高精度厚度檢測需求,減少傳感器移動頻次。0.05μm重復精度:媲美基恩士LK-G系列,線性誤差**成本顛覆:售價僅為進口同類產(chǎn)品的40%~50%,且無需外置控制器,綜合成本降低70%。硬核參數(shù):長距測量的性能標桿參數(shù)LTPD50(無錫泓川)進口競品(如基恩士LK-G500)參考距離50mm50mm測量范圍±0.8mm±0.5mm重復精度0.05μm(無平均)0.1μm采樣頻率160...
  • 4
    2023 - 10 - 20
    ...


    當目標物的反射率發(fā)生急劇變化時,激光位移傳感器的測量穩(wěn)定性會受到影響。反射率較高的目標物可能會達到光飽和狀態(tài),這會導致無法正確檢測接收光光點位置,從而影響測量的穩(wěn)定性。對于反射率較低的目標物,可能會因為接收到的光量不足而無法正確檢測接收光光點位置,進而影響測量的穩(wěn)定性。在這種情況下,激光位移傳感器需要根據(jù)反射率的變化,將接收光量調(diào)整到最佳狀態(tài)后,才能進行穩(wěn)定的測量。具體來說,針對反射率較高的目標物,可以減小激光功率和縮短發(fā)射時間;針對反射率較低的目標物,可以增大激光功率和延長發(fā)射時間。這種方法可以幫助調(diào)整激光位移傳感器的精度,以適應目標物反射率的變化。然而,調(diào)整也并非一個簡單的過程,需要考慮到測量反射率急劇變化位置的穩(wěn)定程度以及使用光量調(diào)整功能以外功能時的穩(wěn)定程度。因此,在實際操作過程中,可能需要多次取樣和調(diào)整才能獲取最佳的測量效果。
  • 5
    2025 - 02 - 17
    ...


    泓川科技LTC系列光譜共焦傳感器中的側(cè)向出光探頭(LTCR系列),憑借其獨特的90°出光設計與緊湊結(jié)構(gòu),徹底解決了深孔、內(nèi)壁、微型腔體等復雜場景的測量難題。本文深度解析LTCR系列的技術優(yōu)勢、核心型號對比及典型行業(yè)應用,為精密制造提供全新測量視角。一、側(cè)向出光探頭技術優(yōu)勢1. 空間適應性革命90°側(cè)向出光:光路與探頭軸線垂直,避免傳統(tǒng)軸向探頭因長度限制無法深入狹窄空間的問題。超薄探頭設計:最小直徑僅Φ3.8mm(LTCR1500N),可深入孔徑≥4mm的深孔/縫隙。案例對比:場景傳統(tǒng)軸向探頭限制LTCR系列解決方案發(fā)動機噴油孔內(nèi)壁檢測探頭長度>50mm,無法伸入LTCR1500N(長度85mm,直徑Φ3.8mm)直達孔底微型軸承內(nèi)圈粗糙度軸向光斑被側(cè)壁遮擋LTCR4000側(cè)向光斑精準照射測量面2. 精度與穩(wěn)定性兼具納米級靜態(tài)噪聲:LTCR1500靜態(tài)噪聲80nm,線性誤差<±0.3μm,媲美軸向探頭性能。抗振動設計:光纖與探頭剛性耦合,在30m/s²振動環(huán)境下,數(shù)據(jù)波動<±0.1μm。溫漂抑制:全系溫漂<0.005%FS/℃,-20℃~80℃環(huán)境下無需重新校準。3. 多場景安裝適配萬向調(diào)節(jié)支架:支持±15°偏轉(zhuǎn)角度微調(diào),兼容非垂直安裝場景。氣密性封裝:IP67防護等級,可直接用于切削...
  • 6
    2025 - 01 - 14
    ...


    一、引言1.1 研究背景與意義在工業(yè)制造、科研等眾多領域,精密測量技術如同基石,支撐著產(chǎn)品質(zhì)量的提升與科學研究的深入。光譜共焦傳感器作為精密測量領域的關鍵技術,正以其獨特的優(yōu)勢,在諸多行業(yè)中發(fā)揮著無可替代的作用。它能精確測量物體的位移、厚度、表面輪廓等參數(shù),為生產(chǎn)過程的精確控制與產(chǎn)品質(zhì)量的嚴格把控提供了關鍵數(shù)據(jù)支持。基恩士作為傳感器領域的佼佼者,其推出的光譜共焦傳感器在市場上備受矚目。基恩士光譜共焦傳感器憑借卓越的性能,如高精度、高穩(wěn)定性、快速響應等,在精密測量領域中脫穎而出。在半導體制造過程中,芯片的生產(chǎn)對精度要求極高,基恩士光譜共焦傳感器可精準測量芯片的厚度、線寬等關鍵參數(shù),保障芯片的性能與質(zhì)量。在光學元件制造領域,其能夠精確測量透鏡的曲率、厚度等參數(shù),助力生產(chǎn)出高質(zhì)量的光學元件。研究基恩士光譜共焦傳感器,對于推動精密測量技術的發(fā)展具有重要意義。通過深入剖析其原理、結(jié)構(gòu)、性能以及應用案例,能夠為相關領域的技術創(chuàng)新提供參考,促進測量技術的不斷進步。在實際應用中,有助于用戶更合理地選擇和使用該傳感器,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。在汽車制造中,利用基恩士光譜共焦傳感器對零部件進行精密測量,可優(yōu)化生產(chǎn)流程,減少廢品率。 1.2 研究現(xiàn)狀在國外,光譜共焦傳感器的研究起步較早,技術也相對成熟。法國的STIL公司作為光譜共焦傳感器的發(fā)明者,一直處于該領域的技術前沿。其研發(fā)的光譜共焦...
  • 7
    2025 - 02 - 19
    ...


    一、測量原理與技術框架高精度激光位移傳感器實現(xiàn)1μm以下精度的核心在于三角測量法的深度優(yōu)化。如圖1所示,當激光束投射到被測表面時,散射光斑經(jīng)接收透鏡在CMOS/CCD陣列上形成位移圖像。根據(jù)幾何關系:\Delta x = \frac{L \cdot \sinθ}{M \cdot \cos(α±θ)}Δx=M?cos(α±θ)L?sinθ其中L為基距,θ為接收角,M為放大倍數(shù)。要實現(xiàn)亞微米分辨率需突破傳統(tǒng)三角法的三個技術瓶頸:光斑質(zhì)量退化、環(huán)境噪聲干擾、信號處理延遲。二、關鍵算法突破1. 光斑中心定位算法采用改進型高斯混合模型(GMM)結(jié)合小波變換降噪,可有效抑制散斑噪聲。研究顯示[1],基于Marr小波的邊緣檢測算法可使定位精度提升至0.12像素(對應0.05μm)。2. 動態(tài)補償算法LTP系列采用專利技術(CN202310456789.1)中的自適應卡爾曼濾波:PYTHONclass AdaptiveKalman:    def update(self, z):        # 實時調(diào)整過程噪聲協(xié)方差Q        se...
  • 8
    2022 - 12 - 05
    ...


    今天我們討論的是條碼閱讀器的性能冗余,高性能條碼閱讀器有哪些優(yōu)勢呢?有時在使用中條碼閱讀器在調(diào)試時。不能很好的對準。或者條碼閱讀器在使用一段時間后出現(xiàn)故障和校準錯誤。紙箱和包裹也可能出現(xiàn)大幅度變形或者傾斜。或者定義范圍不合適。或者超出質(zhì)量標準,甚至有時還會達到,沒有達到標準的class a,條碼標準。例如條碼印刷不清晰或者褪色。在所有的這種條件情況下,我們的條碼閱讀器的性能冗余就派上用場了。       條碼閱讀器達到參數(shù)限制時。通常需要性的目的,也就是說即使閱讀條件不在標準范圍內(nèi),足夠高的讀取質(zhì)量也能解決這個問題。即使在極端條件下,我們專門開發(fā)的光學和模擬電子裝置也能可靠讀取條碼信息。我給大家演示一下,在這個簡單的裝置中,條碼閱讀器通過以太網(wǎng)連接到PC,可以使用web對口激活調(diào)節(jié)模式,然后通過圖表顯示質(zhì)量,如果條碼印刷質(zhì)量較好,清潔角度高達±30度,也能保證實現(xiàn)可靠性,但您可以看到我們產(chǎn)品的檢測范圍遠遠超過低級的限制。我們將這個產(chǎn)品功能,稱為性能榮譽,該功能可以實現(xiàn)非常高的錄取質(zhì)量和應用可靠性。您在應用中遇到哪些問題呢?請聯(lián)系我們。
Message 最新動態(tài)
泓川科技 LTC 光譜共焦傳感器:全系列 200℃耐高溫定制,突破高溫測量精度瓶頸 2025 - 04 - 08 ...


在高溫工業(yè)環(huán)境中,精密測量設備的穩(wěn)定性與精度始終是行業(yè)難題。傳統(tǒng)傳感器在高溫下易出現(xiàn)信號漂移、材料老化等問題,導致測量數(shù)據(jù)失真,甚至設備故障。作為工業(yè)測量領域的創(chuàng)新者,泓川科技推出的 LTC 光譜共焦傳感器系列,突破性實現(xiàn)全型號 200℃耐高溫定制,以 “精度不妥協(xié)、性能無衰減” 的核心優(yōu)勢,為高溫場景測量樹立新標桿,成為替代基恩士等進口品牌高溫版本的理想之選。一、全系列耐高溫定制:200℃環(huán)境下精度如初,打破行業(yè)局限區(qū)別于市場上僅部分型號支持高溫的傳感器,泓川科技 LTC 系列全系產(chǎn)品均可定制 200℃耐高溫版本,涵蓋 LTC100B、LTC400、LTC2000、LTCR 系列等數(shù)十款型號,滿足從微米級精密測量到超大范圍檢測的多樣化需求。通過材料升級與結(jié)構(gòu)優(yōu)化:核心部件耐高溫設計:采用航空級耐高溫光學元件及特殊封裝工藝,確保光源發(fā)射、光譜接收模塊在 200℃長期運行下無熱漂移,重復精度保持 3nm-850nm(依型號),線性誤差≤±0.03μm 起,與常溫環(huán)境一致。耐高溫光纖傳輸:標配專用耐高溫光纖,可承受 200℃持續(xù)高溫,抗彎曲性能提升 30%,有效避免傳統(tǒng)光纖在高溫下的信號衰減與斷裂風險,保障長距離測量信號穩(wěn)定。相較基恩士等品牌僅部分型號支持高溫(通常最高 150℃且精度下降 10%-20%),泓川 LTC 系列實現(xiàn)溫度范圍、型號覆蓋、精度保持三大突破,成為高溫...
無錫泓川科技PD50激光位移傳感器:中空同軸+50mm長距測量,0.05μm精度開啟工業(yè)檢測新維度 2025 - 04 - 07 ...


在大型工件檢測、鋰電池極片測厚、航空航天等高精度長距測量場景中,傳感器需兼具大范圍掃描能力與微米級精度,同時解決多設備空間協(xié)同難題。無錫泓川科技LTPD50激光位移傳感器創(chuàng)新采用中空分體式結(jié)構(gòu)設計,以50mm超長參考距離、0.05μm重復精度及進口半價成本,突破進口設備在長距高精度領域的壟斷,為工業(yè)用戶提供“遠距精準測量+多設備同軸集成”的國產(chǎn)化標桿方案。核心優(yōu)勢:中空架構(gòu)+超長量程,重構(gòu)工業(yè)檢測邊界中空同軸設計,賦能多設備協(xié)同φ25mm貫通孔:傳感器主體中空,支持工業(yè)相機、激光打標頭等外設直接穿過,實現(xiàn)測量點與操作中心零偏差同軸,解決傳統(tǒng)長距傳感器體積大、遮擋視野的痛點。超薄機身:緊湊型設計(74205110mm),適配機器人導軌、自動化產(chǎn)線等空間受限場景,安裝靈活性提升60%。長距高精度,性能對標進口50mm參考距離±0.8mm量程:覆蓋鋰電池極片、金屬板材等大尺寸工件的高精度厚度檢測需求,減少傳感器移動頻次。0.05μm重復精度:媲美基恩士LK-G系列,線性誤差**成本顛覆:售價僅為進口同類產(chǎn)品的40%~50%,且無需外置控制器,綜合成本降低70%。硬核參數(shù):長距測量的性能標桿參數(shù)LTPD50(無錫泓川)進口競品(如基恩士LK-G500)參考距離50mm50mm測量范圍±0.8mm±0.5mm重復精度0.05μm(無平均)0.1μm采樣頻率160...
泓川科技國產(chǎn)激光位移傳感器HC16-15與進口Micro-Epsilon米銥ILD1420-10技術... 2025 - 04 - 02 ...


以下為HC16-15國產(chǎn)激光位移傳感器與進口ILD1420-10的對比分析報告,重點圍繞技術參數(shù)、性能指標及國產(chǎn)替代可行性展開:一、核心參數(shù)對比指標HC16-15(泓川科技)ILD1420-10(Micro-Epsilon)測量范圍±5mm(總10mm)10mm(SMR 20mm至EMR 30mm)線性度±0.1% F.S.±0.08% F.S.重復精度1μm0.5μm采樣頻率3000Hz(最高)4000Hz(最高)光源波長655nm(可見紅光)670nm(可見紅光)輸出接口RS485(Modbus RTU)、0-10V/4-20mARS422、4-20mA/1-5V工作溫度-10°C ~ +50°C0°C ~ +50°C防護等級IP67IP65尺寸(mm)44×31×18約47.5×14(主體)重量70g(含線纜)60g(含線纜)激光安全等級Class 2Class 2(ILD1420)/ Class 1(CL1版本)二、性能深度分析1. 精度與穩(wěn)定性HC16-15:線性度±0.1% F.S.(優(yōu)于多數(shù)國產(chǎn)傳感器),1μm重復精度滿足工業(yè)級需求,溫度特性0.05% F.S/°C,適合寬溫環(huán)境。ILD1420-10:線性度±0.08% F.S....
Copyright ©2005 - 2013 無錫泓川科技有限公司

1

犀牛云提供企業(yè)云服務
Our Link
X
5

電話號碼管理

  • 0510-88155119
6

二維碼管理

展開